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J-GLOBAL ID:201902289616362355   整理番号:19A0661027

完全印刷フレキシブルエレクトロニクスのためのグラフェンラインの高分解能転写印刷【JST・京大機械翻訳】

High-Resolution Transfer Printing of Graphene Lines for Fully Printed, Flexible Electronics
著者 (6件):
資料名:
巻: 11  号:ページ: 7431-7439  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2326A  ISSN: 1936-0851  CODEN: ANCAC3  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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元のグラフェンインクは,それらの高い電気伝導率とロバストな機械的,化学的,および環境安定性のために,フレキシブル印刷エレクトロニクスに対して大きな有望性を示す。従来の液相印刷法は約30μmの分解能でグラフェンパターンを作り出すことができるが,改良された素子性能と集積密度のためにより正確な技術が必要である。ここでは,線幅と間隔がそれぞれ3.2と1μmと小さいプラスチック上に導電性グラフェンパターンを印刷できる高分解能転写印刷法を開発した。この方法のコアは,グラフェンインクの設計と,正確で高性能なグラフェンパターンのために~250°Cまでのアニーリングを可能にする熱的に堅牢なモールドとの統合である。これらのパターンは優れた電気的及び機械的性質を示し,完全印刷電解ゲートトランジスタ及びインバータにおける電極としての良好な動作を可能にし,1%の歪への繰返し曲げ後でも安定した性能を有する。25nm以下のラインエッジ粗さに対する優れた制御と結合した高分解能は,トランジスタ寸法の攻撃的スケーリングを可能にし,フレキシブルなナノ電子デバイスのスケーラブルな製造のための説得力のあるルートを提供する。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  炭素とその化合物 
タイトルに関連する用語 (3件):
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