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J-GLOBAL ID：201902289883075965   整理番号：19A1831725

マルチ閾値イベントモニタリングのためのラッチ-リセット機構を備えたゼロパワーセンシングMEMSショックセンサ【JST・京大機械翻訳】

A zero-power sensing MEMS shock sensor with a latch-reset mechanism for multi-threshold events monitoring

著者 (7件)： Reddy R. Ranga (Department of Electrical Engineering and Information Systems, Graduate School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1, Hongo Bunkyo-ku, 113-8656, Tokyo, Japan) ,  Komeda Keisuke (Department of Electrical Engineering and Information Systems, Graduate School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1, Hongo Bunkyo-ku, 113-8656, Tokyo, Japan) ,  Okamoto Yuki (Department of Electrical Engineering and Information Systems, Graduate School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1, Hongo Bunkyo-ku, 113-8656, Tokyo, Japan) ,  Lebrasseur Eric (VLSI Design and Education Center, The University of Tokyo, 2-11-16, Yayoi Bunkyo-ku, 113-8656, Tokyo, Japan) ,  Higo Akio (VLSI Design and Education Center, The University of Tokyo, 2-11-16, Yayoi Bunkyo-ku, 113-8656, Tokyo, Japan) ,  Mita Yoshio (Department of Electrical Engineering and Information Systems, Graduate School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1, Hongo Bunkyo-ku, 113-8656, Tokyo, Japan) ,  Mita Yoshio (VLSI Design and Education Center, The University of Tokyo, 2-11-16, Yayoi Bunkyo-ku, 113-8656, Tokyo, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 295  ページ： 1-10  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,MEMS受動衝撃センサの設計,モデリング,製作,および試験を提示し,質量ばね組立を用いてロバストなラッチング機構を有する複数の閾値事象を記録した。地震質量に関するラッチング部分は,外部衝撃力に依存して離散的なラッチ位置を可能にし,外部電源なしで長期間にわたって衝撃値を貯蔵する。デバイスの動的挙動を理解するために数値モデルを開発し,提案した衝撃センサは10の閾値レベルで20~250gの衝撃範囲を検知できる。作製した素子を制御可能な衝撃試験を適用して調べ,実験結果を数値モデル値と比較して検証した。再利用可能なラッチング部品間の結合を放出することにより,素子を再初期化するために静電アクチュエータを組み込んだ。衝撃センサは,運転中の加速事象の検出や貯蔵のための電力を必要としない。高い信頼性を持ち,最適な分解能と再利用性は,非常に限られた電力供給による長期遠隔監視応用に適した装置を作る。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電力 ,  電力供給 ,  地震 ,  *MEMS ,  衝撃試験 ,  分解能 ,  ロバスト性 ,  モデリング ,  衝撃 ,  遠隔監視
準シソーラス用語： 静電アクチュエータ ,  数値モデル ,  動的挙動 ,  衝撃値 ,  衝撃センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： しきい値加速度計 ,  衝撃センサ ,  ラッチング機構 ,  衝撃事象 ,  加速度モニタリング

分類 (4件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： マルチ ,  閾値 ,  イベント ,  モニタリング ,  リセット ,  MEMS ,  ショック