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J-GLOBAL ID：201902290559352749   整理番号：19A1177905

ダイヤモンド工具・cBN工具による高精密・高精細加工技術 集束イオンビームを用いたダイヤモンドの微細加工と切削工具への応用

著者 (1件)： 川堰宣隆 (富山県産業技術開発研究セ ものづくり研究開発セ)
資料名： 機械技術  (Mechanical Engineering)
巻： 67  号： 7  ページ： 35-38  発行年： 2019年06月01日 
JST資料番号： F0145A  ISSN： 0451-9396  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・集束イオンビーム(FIB)を利用したテクスチャを有するダイヤモンド切削工具の開発について,特にFIBによるテクスチャの作製と,作製した工具の加工特性について検討した事例の紹介。
・ドーズ量10mC/cm²でGa⁺をFIB照射した単結晶ダイヤモンドの原子間顕微鏡(AFM)による観察像と,温度を変化させて熱処理したダイヤモンドの表面粗さの変化と,ドーズ量を変化させてFIB照射後,熱処理したときの照射部の深さの変化を説明。
・標題の手法では,テキスチャによって工具・被削材間の摩擦特性を改善し,超精密加工における加工特性を大きく改善することの可能性が明らかになる。

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  ダイヤモンド ,  微細加工 ,  *切削工具 ,  テキスチャード加工 ,  イオン照射 ,  摩擦 ,  *イオンビーム加工

分類 (4件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  その他の切削  (QC02040C) ,  研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (9件)： ダイヤモンド工具 ,  CBN工具 ,  精密 ,  精細加工 ,  集束イオンビーム ,  ダイヤモンド ,  微細加工 ,  切削工具 ,  応用