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J-GLOBAL ID：201902291015984442   整理番号：19A2560758

フォトニック集積回路用MEMS【JST・京大機械翻訳】

MEMS for Photonic Integrated Circuits

著者 (6件)： Errando-Herranz Carlos (KTH Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden) ,  Takabayashi Alain Yuji (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland) ,  Edinger Pierre (KTH Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden) ,  Sattari Hamed (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland) ,  Gylfason Kristinn B. (KTH Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden) ,  Quack Niels (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland)
資料名： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 26  号： 2  ページ： ROMBUNNO.8200916.1-16  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フォトニック集積回路(PICs)用の微小電気機械システム(MEMS)の分野をレビューした。この分野は,既存の成分を改善し,PICsにおける新しい機能を導入するために,ナノメータからマイクロメートルスケールでの力学を活用している。このレビューは,MEMS作動原理と統合フォトニクスのための機械的同調機構をカバーする。PICsにおけるMEMS調整可能な部品の現状を定量的にレビューし,既存のPIC技術プラットフォームにおける大規模統合に対する適合性に関して批判的に評価した。MEMSは,PIC技術における現在の限界を克服するための強力なアプローチを提供し,広い範囲の応用により新しい設計次元を可能にする。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *光集積回路 ,  *MEMS ,  適応性 ,  同調
準シソーラス用語： フォトニクス ,  動作原理 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 半導体レーザ  (BD04070L) ,  その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (2件)： フォトニック集積回路 ,  MEMS