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J-GLOBAL ID：201902291283651054   整理番号：19A1409407

金属-有機骨格におけるレニウム-酸化アルミニウム薄膜の原子層堆積とReO_x取り込み【JST・京大機械翻訳】

Atomic Layer Deposition of Rhenium-Aluminum Oxide Thin Films and ReO_x Incorporation in a Metal-Organic Framework

著者 (4件)： Rimoldi Martino (Department of Chemistry, Northwestern University, Illinois, United States) ,  Hupp Joseph T. (Department of Chemistry, Northwestern University, Illinois, United States) ,  Farha Omar K. (Department of Chemistry, Northwestern University, Illinois, United States) ,  Farha Omar K. (Department of Chemistry, Faculty of Science, King Abdulaziz University, Saudi Arabia)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 40  ページ： 35067-35074  発行年： 2017年10月11日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メチルトリオキソレニウム(ReO_3Me)を第一レニウム原子層堆積(ALD)前駆体として導入し,トリメチルアルミニウム(TMA-AlMe_3)と組み合わせたレニウム-酸化アルミニウム薄膜を成長させるために用いた。一般的な化学量論Re_xAl_yO_3xを有する滑らかなRe-Al酸化物膜の成長速度を,その場水晶微量天秤(QCM)とex situ偏光解析法によりモニターし,3.2Å/サイクルであることを見出した。X線光電子分光法(XPS)は,主成分であるRe-(III)種を有する膜の混合原子価組成を明らかにした。さらに,ReO_3Meを用いて,メソ多孔性ジルコニウム系金属-有機骨格(MOF),NU-1000中にレニウム酸化物を析出させることに成功した。金属化MOFは多孔性と結晶性を保持し,エテン水素化に対して触媒的に活性であることが分かった。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： メタライゼーション ,  前駆体 ,  化学量論 ,  触媒 ,  *酸化アルミニウム ,  多孔性 ,  酸化膜 ,  成長速度 ,  X線光電子分光法 ,  *レニウム ,  X線光電子スペクトル ,  *薄膜 ,  水素化
準シソーラス用語： 水晶微量天秤 ,  *MOF【配位高分子】 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 原子層堆積 ,  酸化レニウム ,  トリメチルアルミニウム ,  薄膜 ,  金属-有機骨格 ,  水素化 ,  ガス流

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  トランジスタ  (NC03070N)

物質索引 (1件)： トリメチルアルミニウム

タイトルに関連する用語 (6件)： 金属-有機骨格 ,  レニウム ,  酸化アルミニウム ,  薄膜 ,  原子層堆積 ,  取り込み