文献

J-GLOBAL ID：201902292170419732   整理番号：19A0887259

マイクロ波原子間力顕微鏡の非接触力曲線に基づく誘電材料の局所誘電率測定【JST・京大機械翻訳】

Local permittivity measurement of dielectric materials based on the non-contact force curve of microwave atomic force microscopy

著者 (5件)： Tong Bo (Department of Mechanical Science and Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan) ,  Zhao Minji (Department of Mechanical Science and Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan) ,  Toku Yuhki (Department of Mechanical Science and Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan) ,  Morita Yasuyuki (Faculty of Advanced Science and Technology, Kumamoto University, Kumamoto 860-8555, Japan) ,  Ju Yang (Department of Mechanical Science and Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 90  号： 3  ページ： 033706-033706-5  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノメートルスケールの空間分解能をもつ誘電材料の局所誘電率を測定する非接触で定量的な方法を報告した。プローブと試料間の相互作用に及ぼすマイクロ波の効果を記述するために,近接場近似に基づく理論モデルを開発した。非接触モードの下で,著者らはマイクロ波原子間力顕微鏡を用いてSi,Al_2O_3,Ge,およびZrO_2の力曲線を首尾よく測定し,マイクロ波によって引き起こされた力の変化を観察した。確立した理論モデルに従って,誘電材料の局所誘電率の定量的非接触評価を行った。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 近似法 ,  *マイクロ波 ,  空間分解能 ,  *誘電材料 ,  *原子間力顕微鏡 ,  相互作用 ,  近接場 ,  プローブ ,  *誘電率
準シソーラス用語： コンタクトモード ,  理論モデル ,  *誘電率測定 ,  *非接触 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ波 ,  原子間力顕微鏡 ,  接触力 ,  曲線 ,  誘電材料 ,  誘電率測定