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J-GLOBAL ID：201902294237782818   整理番号：19A1414132

金属ガラス薄膜に基づく高性能のフレキシブル歪センサ【JST・京大機械翻訳】

Flexible strain sensors with high performance based on metallic glass thin film

著者 (11件)： Xian H. J. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Cao C. R. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Shi J. A. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Zhu X. S. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Hu Y. C. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Huang Y. F. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Meng S. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Gu L. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Liu Y. H. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Bai H. Y. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Wang W. H. (Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 111  号： 12  ページ： 121906-121906-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気伝導率が低く,エネルギー消費が大きく,複雑な製造プロセスやコストが高いなどの現在の材料の制約のために,電子スキンのための歪感受性材料の探索は非常に重要である。ここでは,金属ガラススキンと名付けたZr_55Cu_30Ni_5Al_10金属ガラス薄膜に基づく柔軟な歪センサを報告する。イオンビーム蒸着により合成した金属ガラススキンは,約2.86のゲージ因子,大きな検出可能な歪範囲(~1%または180°曲げ角度),および良好な伝導率を有するピエゾ抵抗効果を示した。他のe-スキン材料と比較して,金属ガラススキンの抵抗の温度係数は極端に低く(9.04×10~6K-1),これは熱ドリフトの減少に必須である。さらに,金属ガラス皮膚は,医療応用に望まれる明確な抗菌挙動,優れた再現性と再現性(1000倍以上),ほぼ完全な直線性,低い製造コスト,および無視できるエネルギー消費を示し,これらの全ては実用化のための電子皮膚に必要である。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 感受性 ,  ゲージ ,  *薄膜 ,  イオンビーム蒸着 ,  製造原価 ,  圧抵抗効果 ,  *金属ガラス ,  電気伝導率 ,  エネルギー消費 ,  再現性 ,  線形性 ,  生産工程
準シソーラス用語： 医療応用 ,  伝導率 ,  *歪センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 非晶質金属の構造  (BK04020D) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 金属ガラス ,  薄膜 ,  高性能 ,  歪センサ