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J-GLOBAL ID:201902295756956193   整理番号:19A0487967

Kyropoulos法によるサファイア結晶成長プロセスにおける画像処理技術を用いた自動シーディングシステムの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of Auto-Seeding System Using Image Processing Technology in the Sapphire Crystal Growth Process via the Kyropoulos Method
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 371  発行年: 2017年 
JST資料番号: U7135A  ISSN: 2076-3417  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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結晶成長のKyropoulos(Ky)とCzochralski(Cz)法を大直径単結晶に用いた。これらの方法における播種プロセスは,種結晶と溶融材料の表面の間の接触を開始することにより,初期結晶化を誘導しなければならない。KyとCz法において,播種プロセスは全成長過程の間のインゴット成長の基礎を築く。この過程で欠陥が生じると,インゴット全体に広がる可能性がある。本論文では,自動播種のための視覚システムを構築し,Ky法における融液の表面を観察した。融液の内部対流が溶融材料表面上のスポークパターンの形状を観察することによって安定化されるとき,時間を検出するためのアルゴリズムを開発した。次に,成長炉にビジョンシステムとアルゴリズムを適用し,サファイア成長のためのプロセス自動化の可能性を検討した。融液の対流が安定化されることを確認するために,視覚システムと画像処理を用いて島の位置(すなわちスポークパターンの中心)を検出した。島の中心に対する観測座標を画像処理アルゴリズムから検出された座標と比較したとき,平均誤差1.87mm(1024×768画素の画像に基づく)があった。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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結晶成長技術・装置  ,  酸化物の結晶成長 
引用文献 (19件):
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