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J-GLOBAL ID：201902296339764947   整理番号：19A2571151

130MHz光機械振動センサ:高帯域幅/超高感度測定に向けて【JST・京大機械翻訳】

130-MHz Optomechanical Vibrating Sensor: Towards High Bandwidth / Ultrasensitive Measurements

著者 (12件)： Schwab Lucien (CNRS, University of Toulouse, LAAS-CNRS, Toulouse, FRANCE) ,  Allain Pierre-Etienne (Mate ́riaux et Phe ́nome`nes Quantiques, Univ. Paris Diderot, CNRS UMR 7162, Paris, FRANCE) ,  Banniard Louise (Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, Grenoble, 38000, FRANCE) ,  Mauran Nicolas (CNRS, University of Toulouse, LAAS-CNRS, Toulouse, FRANCE) ,  Lagrange Denis (CNRS, University of Toulouse, LAAS-CNRS, Toulouse, FRANCE) ,  Fafin Alexandre (Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, Grenoble, 38000, FRANCE) ,  Gely Marc (Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, Grenoble, 38000, FRANCE) ,  Hermouet Maxime (Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, Grenoble, 38000, FRANCE) ,  Jourdan Guillaume (Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, Grenoble, 38000, FRANCE) ,  Hentz Sebastien (Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, Grenoble, 38000, FRANCE) ,  Favero Ivan (Mate ́riaux et Phe ́nome`nes Quantiques, Univ. Paris Diderot, CNRS UMR 7162, Paris, FRANCE) ,  Legrand Bernard (CNRS, University of Toulouse, LAAS-CNRS, Toulouse, FRANCE)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： MEMS  ページ： 819-822  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分解能センシング応用のために設計したVLSI光機械マイクロ共振器の全光動作を示した。機械的共振周波数は100MHz以上で,空気中で1000のQ値をもち,100kHz以上の測定帯域幅を得た。著者らは,4.10~-16mまでの出口運動検出限界で分解された低い熱機械的雑音フロアを実証した。Hz~-0.5。この性能は光機械的変換により可能になり,非常に高速で超高感度なセンシング応用の道を開く。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  *帯域幅 ,  雑音 ,  Q値 ,  高分解能 ,  微小共振器 ,  高速度 ,  超LSI ,  検出限界
準シソーラス用語： *超高感度 ,  *振動センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 機械振動 ,  高帯域幅 ,  高感度