文献

J-GLOBAL ID：201902297501082160   整理番号：19A1831743

二酸化バナジウム系平面デバイスにおける電圧誘起振動を用いた温度と圧力の同時測定【JST・京大機械翻訳】

Simultaneous measurement of temperature and pressure using voltage-induced oscillation in vanadium-dioxide-based planar device

著者 (9件)： Kim Min Seok (Interdisciplinary Program of Marine-Bio, Electrical & Mechanical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea) ,  Kim Jihoon (School of Electrical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea) ,  Lee Seul-Lee (Interdisciplinary Program of Marine-Bio, Electrical & Mechanical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea) ,  Choi Sungwook (Interdisciplinary Program of Marine-Bio, Electrical & Mechanical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea) ,  Jung Sun Jae (Interdisciplinary Program of Marine-Bio, Electrical & Mechanical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea) ,  Kim Do Kyung (Interdisciplinary Program of Marine-Bio, Electrical & Mechanical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea) ,  Kim Bong-Jun (Mobrik Co. Ltd., Gajeong-ro 218, Yuseong-gu, Daejeon, 34129, Republic of Korea) ,  Lee Yong Wook (Interdisciplinary Program of Marine-Bio, Electrical & Mechanical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea) ,  Lee Yong Wook (School of Electrical Engineering, Pukyong National University, Yongso-ro 45, Nam-gu, Busan, 48513, Republic of Korea)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 295  ページ： 169-176  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,二酸化バナジウム(VO_2)薄膜に基づく二端子平面素子で発生する電圧誘起発振の二つの波形パラメータを利用することにより,温度と圧力の同時測定を初めて実証した。2つの振動波形パラメータは,振動周波数f_oと振動振幅A_oを示した。電圧誘起発振を作るために,DC電圧源として作用するVO_2ベースの2端子平面素子,外部抵抗器,およびDC電源を直列接続することによって閉ループ回路を形成した。異なる寸法の3つのデバイスを用いて同時測定を行った:デバイスI,II,およびIIIはそれぞれ10μmの固定電極分離で3,5,および10μmの電流チャネル幅を持つ。Device I,IIおよびIIIに対して,f_oおよびA_oの温度感受性は,1atmでの適用圧力(0MPa)なしで,25~50°Cの温度範囲で,それぞれ17.27,17.50および17.69kHz/°Cおよび-0.163,-0.156および-0.160V/°Cと測定された。同様に,f_oおよびA_oの圧力感度は,室温(25°C)で0~5MPaの適用圧力範囲で,Device I,IIおよびIIIに対して,それぞれ58.15,58.48および59.08kHz/MPaおよび-0.471,-0.451,-0.450V/MPaと測定された。温度および圧力に対するそれらの線形および独立応答のために,VO_2装置に適用された温度および圧力変化を,f_oおよびA_oの上記の予備測定温度および圧力感度を用いて,見つけ出すことができた。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *電圧発生 ,  温度感受性 ,  抵抗器 ,  直流電圧 ,  電流 ,  線形性 ,  直流電源 ,  薄膜 ,  振動数 ,  *同時計測 ,  直列接続 ,  振動振幅 ,  センサ
準シソーラス用語： チャネル幅 ,  *二酸化バナジウム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 二酸化バナジウム ,  薄膜 ,  電圧誘起振動 ,  温度 ,  圧力 ,  センサ

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 二酸化バナジウム ,  電圧誘起 ,  同時測定