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J-GLOBAL ID：201902298005938568   整理番号：19A1255924

大面積3D閉込めおよび平面マグネトロンスパッタリングにより作製したフレキシブル超薄ITO膜のプラズマ特性と特性の研究【JST・京大機械翻訳】

Study of plasma characteristic and properties of flexible ultra-thin ITO films prepared by large area 3-D confined and planar magnetron sputtering

著者 (4件)： Sahu Bibhuti B. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Center for Advanced Plasma Surface Technology (CAPST), Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Wen Long (School of Advanced Materials Science and Engineering, Center for Advanced Plasma Surface Technology (CAPST), Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Kim Seok H. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Center for Advanced Plasma Surface Technology (CAPST), Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Han Jeon G. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Center for Advanced Plasma Surface Technology (CAPST), Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 165  ページ： 246-253  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,従来の平面マグネトロン源(PMS)と大きな3D閉じ込めマグネトロン源(3DMS)におけるプラズマ特性を示した。種々のプラズマ診断法を用いて,室温近傍での超薄酸化インジウムスズ(ITO)膜の蒸着のためのプラズマ特性と好ましいプラズマ条件を研究した。Langmuirプローブ(LP)によるプラズマパラメータの測定と熱量測定プローブ(CP)によるエネルギーフラックスは,3DMSで操作したとき,基板上に非常に高密度のプラズマと堆積エネルギーフラックス(EF)をそれぞれ示した。プラズマ診断は,3DMSプロセスで測定されたプラズマ密度がPMSプロセスのそれと比較してほぼ1桁高いことを明らかにした。堆積のための好ましいプロセス条件として,高密度プラズマと堆積EFの実験条件を考察した。この条件で,柔軟な超薄ITO(UT-ITO)膜をO_2流量を変えることによって蒸着した。膜特性に及ぼす負の酸素イオン(nois)の役割を,種々のO_2流量で研究した。最低のNOIフラックスを有する条件は,低温で3DMSを用いて,最低抵抗率~5.0×10~4ΩcmのUT-ITO膜を生成し,結晶微細構造と滑らかな形態を有する可視透過率~82%を示した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマ診断 ,  Langmuir探針 ,  基板 ,  *プラズマ ,  *マグネトロンスパッタリング ,  低温 ,  酸化インジウムスズ ,  電気抵抗率 ,  透過率 ,  *三次元 ,  プラズマ密度 ,  *マグネトロン ,  流量
準シソーラス用語： 高密度 ,  *大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 透明導電性酸化物(TCO) ,  平面マグネトロンスパッタリング ,  3D閉込めマグネトロンスパッタリング ,  ITO超薄膜 ,  高密度プラズマ

分類 (2件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大面積 ,  3D ,  閉込め ,  マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  ITO膜 ,  プラズマ特性 ,  研究