特許
J-GLOBAL ID:201903000298841137
磁性半導体材料の製造方法及び半導体材料磁性化液
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
上村 陽一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-168246
公開番号(公開出願番号):特開2019-046959
出願日: 2017年09月01日
公開日(公表日): 2019年03月22日
要約:
【課題】より強い磁性を示す半導体材料の製造方法、及び、これに好適に用いることのできる半導体材料磁性化液を提供する。【解決手段】水酸化ナトリウム0.4g、水10ml、エタノール90mlを含む溶液を用意し、一対の白金電極を浸漬させ、0.2A、5Vの条件で電圧を3時間印加し、電解を実施する。次にこの得られた電解溶液を、50°Cに加熱しp型半導体材料であるシリコンウエハーの表面を12時間電界溶液に接触させて処理する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
アルカリ性アルコール溶液を電解した溶液で半導体材料を処理する工程を含む、磁性半導体材料の製造方法。
IPC (5件):
H01F 41/24
, C01B 33/02
, C25B 3/02
, H01L 21/306
, H01F 1/40
FI (5件):
H01F41/24
, C01B33/02 E
, C25B3/02
, H01L21/306 L
, H01F1/40
Fターム (32件):
4G072AA01
, 4G072BB02
, 4G072BB05
, 4G072BB12
, 4G072GG02
, 4G072GG03
, 4G072HH01
, 4G072JJ05
, 4G072LL06
, 4G072LL09
, 4G072LL11
, 4G072MM40
, 4G072RR03
, 4G072RR12
, 4G072RR15
, 4G072RR28
, 4G072UU30
, 4K021AC09
, 4K021BA06
, 4K021BA17
, 5E040AA20
, 5E040AB10
, 5E040CA11
, 5E049AC03
, 5E049BA30
, 5E049DB10
, 5E049EB03
, 5E049KC10
, 5F043AA02
, 5F043BB01
, 5F043DD02
, 5F043DD10
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