特許
J-GLOBAL ID：201903000659476153

ゲートバルブの制御方法

発明者：
澤畑 朋宏

澤畑 朋宏 について

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齋藤 勝之

齋藤 勝之 について

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永井 秀明

永井 秀明 について

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池田 光浩

池田 光浩 について


出願人/特許権者：
株式会社ブイテックス

株式会社ブイテックス について


代理人 (1件)： 特許業務法人 日峯国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-077270
公開番号（公開出願番号）：特開2019-183995
出願日： 2018年04月13日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
要約：
【課題】弁体の振動を抑えつつ短時間で開動作させるゲートバルブの制御方法を提供する。【解決手段】本発明は、チャンバの開口部に設けたゲートバルブの制御方法であって、前記開口部を塞ぐように開閉する弁体と、前記開口部の縁に設けられ前記弁体が押し付けられる弁座と、前記弁体と前記弁座の間を封止するシール材と、を有し、前記シール材を潰して前記弁体が前記弁座に押し付けられた閉位置から前記弁体を開動作させる際に、前記弁体を開いていき潰されていた前記シール材が剥がれる直前又は直後の位置において前記弁体を所定の時間だけ一時停止させる、ことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
チャンバの開口部に設けたゲートバルブの制御方法であって、 前記開口部を塞ぐように開閉する弁体と、 前記開口部の縁に設けられ前記弁体が押し付けられる弁座と、 前記弁体と前記弁座の間を封止するシール材と、を有し、 前記シール材を潰して前記弁体が前記弁座に押し付けられた閉位置から前記弁体を開動作させる際に、前記弁体を開いていき潰されていた前記シール材が剥がれる直前又は直後の位置において前記弁体を所定の時間だけ一時停止させる、 ことを特徴とするゲートバルブの制御方法。
IPC (2件)：
F16K 51/02 ,  F16K 3/18
FI (2件)：
F16K51/02 B ,  F16K3/18 Z
Fターム (5件)：
3H053AA33 ,  3H053BA23 ,  3H053DA09 ,  3H066AA03 ,  3H066BA33
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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