特許
J-GLOBAL ID:201903001347948216
レーザ光源装置及びレーザ光調整方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-031862
公開番号(公開出願番号):特開2019-149400
出願日: 2018年02月26日
公開日(公表日): 2019年09月05日
要約:
【課題】レーザ光を安定化するための所望の飽和吸収線を確実に得ることができるレーザ光源装置及びレーザ光調整方法を提供する。【解決手段】レーザ光調整方法は、アクチュエータへの印加の変化に応じた光出力信号の強度に基づいて、一対のモードホップ及び一対のモードホップの比較用飽和吸収線群を検出する検出工程(ステップS1)と、一対のモードホップが生じた各電圧値の中間値であるモード中心電圧値と、比較用飽和吸収線群が生じた電圧値である比較用電圧値とを比較する比較工程(ステップS2)と、比較用電圧値がモード中心電圧値よりも小さい場合、温度調整器の制御温度を上昇させ、比較用電圧値がモード中心電圧値よりも大きい場合、温度調整器の制御温度を下降させる制御温度調整工程(ステップS3,S4)と、制御温度調整工程の後、レーザ光の発振周波数を特定の飽和吸収線に安定化させるレーザ光安定化工程(ステップS5)と、を含む。【選択図】図3
請求項(抜粋):
励起光を受けて基本波光を生成するレーザ媒体、及び、前記基本波光を目的波長のレーザ光に変換する非線形光学結晶を含む共振器と、
前記レーザ光が照射される吸収セルと、
前記吸収セルを介した前記レーザ光を光出力信号に変換する光変換器と、
前記非線形光学結晶の温度を調整する温度調整器と、
印加される電圧に応じて前記共振器の共振器長を変化させるアクチュエータと、
制御ユニットとを備え、
前記制御ユニットは、
前記アクチュエータに印加する前記電圧を制御するアクチュエータ制御手段と、
前記電圧の変化に応じた前記光出力信号の強度に基づいて、任意の隣り合う一対のモードホップ、及び、前記一対のモードホップの間に生じる比較用飽和吸収線群を検出する検出手段と、
前記一対のモードホップが生じた各電圧値の中間値であるモード中心電圧値と、前記比較用飽和吸収線群が生じた電圧値である比較用電圧値とを比較する比較手段と、
前記比較用電圧値が前記モード中心電圧値よりも小さい場合、前記温度調整器の制御温度を上昇させ、前記比較用電圧値が前記モード中心電圧値よりも大きい場合、前記温度調整器の制御温度を下降させる制御温度調整手段と、を有する
ことを特徴とするレーザ光源装置。
IPC (3件):
H01S 3/139
, H01S 3/108
, H01S 3/00
FI (3件):
H01S3/139
, H01S3/108
, H01S3/00 G
Fターム (15件):
5F172AE09
, 5F172AF02
, 5F172EE13
, 5F172NN24
, 5F172NP04
, 5F172NP12
, 5F172NP18
, 5F172NQ09
, 5F172NQ43
, 5F172NQ62
, 5F172NS05
, 5F172NS18
, 5F172NS19
, 5F172NS25
, 5F172NS26
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