特許

J-GLOBAL ID：201903001687904949

載置部材

発明者： 増田 将太郎 ,  市川 智昭 ,  前野 洋平
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (2件)： 籾井 孝文 ,  高階 勝也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-006145
公開番号（公開出願番号）：特開2017-126696
特許番号：特許第6616194号
出願日： 2016年01月15日
公開日（公表日）： 2017年07月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 載置面がカーボンナノチューブの集合体から構成される、載置部材であって、 シリコンウエハ上に、カーボンナノチューブ集合体側表面が該シリコンウエハと接するようにして、該載置部材を置き、該載置部材の上から100gの荷重をかけ30秒放置した際に、該シリコンウエハに転写した直径0.2μm以上のパーティクルの数が、9000個/cm2以下である、 載置部材。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 ZNM A ,  B65G 49/07 E

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ファンデルワールス力を用いてワークピースを搬送するアンチスリップエンドエフェクタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-071933   出願人：エーエスエムアイピーホールディングビー.ブイ.
• 改善されたウェハ・ハンドリングのための微細構造体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-257334   出願人：ラムリサーチコーポレーション
• 半導体ウェーハ用のクランプ治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-325097   出願人：信越ポリマー株式会社