特許

J-GLOBAL ID：201903002114973160

研磨液

発明者： 永岡 昭二 ,  堀川 真希 ,  城崎 智洋 ,  龍 直哉 ,  林 佳菜子 ,  伊原 博隆 ,  高藤 誠 ,  古賀 正樹
出願人/特許権者： 熊本県 ,  国立大学法人 熊本大学 ,  濱田重工株式会社
代理人 (1件)： 多賀 久直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-100210
公開番号（公開出願番号）：特開2019-203098
出願日： 2018年05月25日
公開日（公表日）： 2019年11月28日
要約：

【課題】研磨レートの向上に寄与する研磨液を提供する。【解決手段】研磨液は、中性のpH領域においてマイナスの表面電荷を有するダイヤモンドなどの砥粒と、中性のpH領域においてプラスの表面電荷を有するキトサンなどの多糖からなる多糖ファイバーとを含んでいる。研磨液において、砥粒と多糖ファイバーとが凝集物を形成している。多糖ファイバーは、その繊維径がナノサイズである。研磨液は、pHが5.8以上になるように設定されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

中性のpH領域においてマイナスの表面電荷を有する砥粒と、 中性のpH領域においてプラスの表面電荷を有し、研磨液中で前記砥粒と凝集物を形成する多糖ファイバーと、を含み、 前記多糖ファイバーは、その繊維径がナノサイズであり、 研磨液のpHが、5.8以上に設定されている ことを特徴とする研磨液。

IPC (4件)：

C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  C09G 1/02 ,  B24B 37/00

FI (6件)：

C09K3/14 550C ,  H01L21/304 622D ,  C09K3/14 550F ,  C09K3/14 550Z ,  C09G1/02 ,  B24B37/00 H

Fターム (29件)：

3C158AA07 ,  3C158AC04 ,  3C158CA01 ,  3C158CB03 ,  3C158DA02 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158ED05 ,  3C158ED09 ,  3C158ED22 ,  3C158ED23 ,  3C158ED24 ,  3C158ED26 ,  5F057AA14 ,  5F057AA28 ,  5F057AA44 ,  5F057BB03 ,  5F057BB06 ,  5F057BB09 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057DA05 ,  5F057EA01 ,  5F057EA06 ,  5F057EA11 ,  5F057EA16 ,  5F057EA21 ,  5F057EA31

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 化学機械研磨用水系分散体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-331504   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 複合体およびそれを製造する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2016-539604   出願人：ウーペーエム-キュンメネコーポレイション, コーヴェーハーミルカエルテーデー
• 特開昭61-257763
  
• 複合粒子およびその製造方法、ならびに研磨液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-188351   出願人：熊本県