特許
J-GLOBAL ID:201903002185450843
光電変換素子及び光電変換素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018012813
公開番号(公開出願番号):WO2018-181499
出願日: 2018年03月28日
公開日(公表日): 2018年10月04日
要約:
本開示の光電変換素子の製造方法は、n型半導体部と、前記n型半導体部と共にダイオードを構成するp型半導体部と、を有する半導体基板を準備する工程と、前記n型半導体部の少なくとも一部にn側下地導電層を形成する工程と、前記p型半導体部の少なくとも一部にp側下地導電層を形成する工程と、前記n側下地導電層と前記p側下地導電層とをめっき液に浸漬し、前記n側下地導電層と前記p側下地導電層とが、前記ダイオードのみによって電気的に接続された状態で、前記n側下地導電層を給電することにより、前記n側下地導電層の少なくとも一部と、前記p側下地導電層の少なくとも一部と、にめっき層を形成する工程と、を含む。
請求項(抜粋):
n型半導体部と、前記n型半導体部と共にダイオードを構成するp型半導体部と、を有する半導体基板を準備する工程と、
前記n型半導体部の少なくとも一部にn側下地導電層を形成する工程と、
前記p型半導体部の少なくとも一部にp側下地導電層を形成する工程と、
前記n側下地導電層と前記p側下地導電層とをめっき液に浸漬し、前記n側下地導電層と前記p側下地導電層とが、前記ダイオードのみによって電気的に接続された状態で、前記n側下地導電層を給電することにより、前記n側下地導電層の少なくとも一部と、前記p側下地導電層の少なくとも一部と、にめっき層を形成する工程と、
を含む、光電変換素子の製造方法。
IPC (2件):
H01L 31/022
, H01L 31/074
FI (2件):
H01L31/04 260
, H01L31/06 455
Fターム (23件):
5F151AA02
, 5F151AA05
, 5F151BA14
, 5F151CA14
, 5F151CB12
, 5F151CB13
, 5F151CB14
, 5F151CB15
, 5F151CB21
, 5F151CB27
, 5F151DA03
, 5F151DA07
, 5F151DA10
, 5F151DA20
, 5F151FA02
, 5F151FA03
, 5F151FA06
, 5F151FA08
, 5F151FA14
, 5F151FA15
, 5F151FA17
, 5F151FA21
, 5F151HA07
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