特許
J-GLOBAL ID：201903002518608873

テープ特性の評価方法及び拡張装置

発明者：
上里 昌充

上里 昌充 について

, 
川口 吉洋

川口 吉洋 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-005825
公開番号（公開出願番号）：特開2019-125719
出願日： 2018年01月17日
公開日（公表日）： 2019年07月25日
要約：
【課題】実際のテープを拡張する条件下でのテープ特性を測定することができること。【解決手段】テープ特性の評価方法は、保持ユニットでテープを保持する保持ステップST2と、モーターを駆動しテープを拡張する拡張ステップST3と、拡張ステップST3の実施中に制御ユニットによってモーターの出力トルクを測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップST4と、を含む。評価ステップST4において、モーターの出力トルクの変化からテープが降伏点に至る拡張ユニットの移動量を算出する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
テープ特性の評価方法であって、 保持手段でテープを保持する保持ステップと、 モーターを駆動しテープを拡張する拡張ステップと、 該拡張ステップの実施中に制御手段によってモーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップと、 を含むことを特徴とするテープ特性の評価方法。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/683
FI (3件)：
H01L21/78 M ,  H01L21/78 X ,  H01L21/68 N
Fターム (41件)：
5F063AA31 ,  5F063AA48 ,  5F063BA33 ,  5F063BA43 ,  5F063BA45 ,  5F063BA47 ,  5F063CB05 ,  5F063CB06 ,  5F063CB07 ,  5F063CB29 ,  5F063DD31 ,  5F063DD68 ,  5F063DD74 ,  5F063DD75 ,  5F063DD76 ,  5F063DD93 ,  5F063DE23 ,  5F063DE31 ,  5F063EE07 ,  5F063EE09 ,  5F063EE21 ,  5F063EE31 ,  5F063EE48 ,  5F063FF05 ,  5F131AA02 ,  5F131BA52 ,  5F131BA53 ,  5F131CA69 ,  5F131DA13 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA05 ,  5F131EB82 ,  5F131EC32 ,  5F131EC44 ,  5F131EC75 ,  5F131KA10 ,  5F131KA32 ,  5F131KA70 ,  5F131KA72
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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