特許

J-GLOBAL ID：201903003102317981

液中プラズマ発生装置および液体処理装置

発明者： 堀越 章 ,  中村 昭平 ,  高辻 茂 ,  河野 元宏
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (2件)： 振角 正一 ,  大西 一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-097043
公開番号（公開出願番号）：特開2018-206763
出願日： 2018年05月21日
公開日（公表日）： 2018年12月27日
要約：

【課題】液体中に供給された気体にプラズマを発生させる液中プラズマ発生装置において、高効率で安定したプラズマを発生させる。【解決手段】液中プラズマ発生装置3は、内部空間に液体を保持する筐体と、内部空間内に開口を有し該開口から液体中に気体を吐出する気体供給管と、気体供給管内から開口を介して内部空間に突出し、該突出部位は導体部が誘電体により被覆された構造を有する第1電極と、第1電極の突出部位を取り囲んで設けられ、誘電体によって液体から隔離された導体部を有する第2電極と、第1電極と第2電極との間に電圧を印加する電圧印加部とを備え、突出部位と第2電極との間の空間が、開口から吐出された気体が流通する流路となっている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

内部空間に液体を保持する筐体と、 前記内部空間内に開口を有し該開口から前記液体中に気体を吐出する気体供給管と、 前記気体供給管内から前記開口を介して前記内部空間に突出し、該突出部位は導体部が誘電体により被覆された構造を有する第1電極と、 前記第1電極の前記突出部位を取り囲んで設けられ、誘電体によって前記液体から隔離された導体部を有する第2電極と、 前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加する電圧印加部と を備え、 前記突出部位と前記第2電極との間の空間が、前記開口から吐出された前記気体が流通する流路である液中プラズマ発生装置。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  C02F 1/48 ,  C02F 1/68

FI (6件)：

H05H1/24 ,  C02F1/48 B ,  C02F1/68 510A ,  C02F1/68 520B ,  C02F1/68 530A ,  C02F1/68 540E

Fターム (23件)：

2G084AA17 ,  2G084BB02 ,  2G084BB05 ,  2G084BB36 ,  2G084CC03 ,  2G084CC19 ,  2G084CC35 ,  2G084DD02 ,  2G084DD12 ,  2G084DD17 ,  2G084DD22 ,  2G084FF01 ,  2G084FF14 ,  2G084FF39 ,  2G084GG03 ,  2G084GG07 ,  4D061DA01 ,  4D061DB09 ,  4D061EA15 ,  4D061EB09 ,  4D061EB16 ,  4D061EB19 ,  4D061EB33