特許
J-GLOBAL ID：201903003674823764
チップ突き上げニードル装置及びチップ突き上げニードル設備
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人R&C
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-034919
公開番号（公開出願番号）：特開2019-121775
出願日： 2018年02月28日
公開日（公表日）： 2019年07月22日
要約：
【課題】チップがニードルによって突き上げられて破損することを抑えることができるチップ突き上げニードル装置を提供する。【解決手段】本発明に係るチップ突き上げニードル装置は、外側から内側へ順に配置される複数の外枠及び1つの中央台部を有し、これら外枠の各側壁の上面に複数の第1傾斜溝チャンネル及び第2傾斜溝チャンネルが形成され、各第1傾斜溝チャンネル及び第2傾斜溝チャンネルは、内壁面が平面であり、且つ中央台部における第1溝部及び第2溝部と連通している。このような本発明に係るチップ突き上げニードル装置が真空環境に設置されて使用される際に、これら第1、第2傾斜溝チャンネル及び第1、第2溝部によって、チップが粘着されている上方のテープに対する均等な真空吸着力が発生するため、外枠及び中央台部によってテープを突き上げる過程中にチップが破損することを抑制することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
外側から内側へ順に設置される複数の外枠と、
前記複数の外枠のうち最も内側にある外枠内に設置され、少なくとも1つの第1溝部及び少なくとも1つの第2溝部が形成されている中央台部と、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、それぞれの内壁面が平面である複数の第1傾斜溝チャンネルと、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、それぞれの内壁面が平面であって且つ傾斜方向が各前記第1傾斜溝チャンネルの傾斜方向とは反対方向である複数の第2傾斜溝チャンネルとを備えるチップ突き上げニードル装置であって、
各前記外枠の少なくとも1つの内側面に通気間隙が形成され、
各前記第1溝部は、各前記第2溝部と互いに連通し、
前記複数の第1傾斜溝チャンネルのうち少なくとも1つの第1傾斜溝チャンネルが前記少なくとも1つの第1溝部及び少なくとも1つの第2溝部と連通し、
前記複数の第2傾斜溝チャンネルのうち少なくとも1つの第2傾斜溝チャンネルが前記少なくとも1つの第1溝部及び少なくとも1つの第2溝部と連通している、チップ突き上げニードル装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/78 Y
, H01L21/68 E
5F063AA05
, 5F063AA21
, 5F063DD86
, 5F063DD87
, 5F063DG31
, 5F063EE21
, 5F131AA04
, 5F131BA52
, 5F131BA53
, 5F131CA09
, 5F131DA03
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DB22
, 5F131DB62
, 5F131EA07
, 5F131EB01
, 5F131EC32
, 5F131EC72
, 5F131EC74
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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