特許

J-GLOBAL ID：201903003721427384

音響共振器

発明者： リー、タエ キュン ,  キム、タエ ユン ,  ユン、サン キー ,  リム、チャン ヒュン ,  キム、ジョン ウン ,  リー、ムン チュル
出願人/特許権者： サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド.
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-094297
公開番号（公開出願番号）：特開2019-201305
出願日： 2018年05月16日
公開日（公表日）： 2019年11月21日
要約：

【課題】性能を向上させることができる音響共振器及びその製造方法を提供する。【解決手段】音響共振器100は、基板110と、基板上に配置され、下部からメンブレン層150、第1電極121、圧電層123及び第2電極125が順に積層された共振部120と、を含む。共振部は、キャビティCによって基板と離隔しており、キャビティの間隔に関連して次の式を満たすことができる。(式)0Å≦△Cg≦340Å(ここで、△Cgは、キャビティの最大間隔と最小間隔との差である。)【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に配置され、下部からメンブレン層、第1電極、圧電層、及び第2電極が順に積層された共振部と、を含む音響共振器であって、 前記共振部は、キャビティによって前記基板と離隔しており、 前記キャビティの間隔に関連して次の式を満たす、音響共振器。 (式)0Å≦△Cg≦340Å (ここで、△Cgは、前記キャビティの最大間隔と最小間隔との差である。)

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/053 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (6件)：

H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H01L41/053 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

Fターム (4件)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC12 ,  5J108EE03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 音響共振器及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-188028   出願人：サムソンエレクトロ-メカニックスカンパニーリミテッド.