特許

J-GLOBAL ID：201903003924574900

MEMS制御回路、及びこれを用いたプロジェクタ

発明者： 氏家 裕介 ,  古谷 暁子 ,  加藤 知己 ,  川添 宣明
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-013895
公開番号（公開出願番号）：特開2019-132949
出願日： 2018年01月30日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

【課題】MEMSデバイスの駆動周波数を精度良く共振周波数に追従させることのできるMEMS制御回路を提供する。【解決手段】MEMS制御回路は、MEMSデバイスの高速軸方向の振幅を表わすモニタ信号に基づいて単位時間あたりの振幅平均値を求める平均値取得部と、前記振幅平均値を基準値と比較する比較部と、同一の比較結果が所定回数連続する場合に前記MEMSデバイスの駆動周波数を更新する駆動周波数調整部と、を有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

MEMSデバイスの高速軸方向の振幅を表わすモニタ信号に基づいて、単位時間あたりの振幅平均値を求める平均値取得部と、 前記振幅平均値を基準値と比較する比較部と、 同一の比較結果が所定回数連続する場合に、前記MEMSデバイスの駆動周波数を更新する駆動周波数調整部と、 を有することを特徴とするMEMS制御回路。

IPC (1件)：

G02B 26/10

FI (1件)：

G02B26/10 104Z

Fターム (6件)：

2H045AB10 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB48 ,  2H045BA24