特許

J-GLOBAL ID：201903004367550234

バックアップ軸受接触センサ付きの真空ポンプ

発明者： バーラミ ムハンマド エグテサディ ,  ホーラー リチャード グリン
出願人/特許権者： エドワーズ リミテッド
代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  弟子丸 健 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  吉野 亮平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-540202
特許番号：特許第6485874号
出願日： 2013年10月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 真空ポンプであって、駆動シャフトによって回転可能に支持されたロータと、前記駆動シャフトの回転中に前記ロータの運動を制御する第1の軸受組立体と、前記運動を制限するバックアップ軸受組立体と、前記運動が前記バックアップ軸受組立体によって制限された時点を検出するセンサとを含む真空ポンプ輸送機構体を有し、 前記センサは、前記ロータ又は前記駆動シャフトに外部からの衝撃または打撃によって加えられた力の大きさであって、前記バックアップ軸受組立体が前記力に起因して生じる前記運動を制限するのに十分な力の大きさを検出するように構成され、 前記センサは、前記バックアップ軸受組立体が前記運動を制限したイベントの回数を計数する計数器に信号を出力するよう構成されている、 ことを特徴とする真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F04D 19/04 A ,  F04D 19/04 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ターボ分子ポンプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-191511   出願人：光洋精工株式会社
• 磁気軸受装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-202895   出願人：光洋精工株式会社