特許
J-GLOBAL ID：201903004451468837
光学デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
, 木津 正晴
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-556948
特許番号：特許第6471274号
出願日： 2018年07月06日
要約：
【要約】 光学デバイスでは、ベース及び可動部は、第1半導体層、絶縁層及び第2半導体層を所定方向における一方の側からこの順に有する半導体基板によって構成されている。ベースは、第1半導体層、絶縁層及び第2半導体層によって構成されている。可動部は、第2半導体層によって構成された配置部を有している。光学機能部は、配置部における一方の側の表面上に配置されている。ベースを構成する第1半導体層は、ベースを構成する第2半導体層よりも厚い。ベースにおける一方の側の表面は、光学機能部よりも一方の側に位置している。
請求項（抜粋）：
【請求項1】 主面を有するベースと、
前記主面と交差する所定方向に沿って移動可能となるように前記ベースにおいて支持された可動部と、
前記可動部上に配置された光学機能部と、を備え、
前記ベース及び前記可動部は、第1半導体層、絶縁層及び第2半導体層を前記所定方向における一方の側からこの順に有する半導体基板によって構成されており、
前記ベースは、前記第1半導体層、前記絶縁層及び前記第2半導体層によって構成されており、
前記可動部は、前記第2半導体層によって構成された配置部を有し、
前記光学機能部は、前記配置部における前記一方の側の表面上に配置されており、
前記ベースを構成する前記第1半導体層は、前記ベースを構成する前記第2半導体層よりも厚く、
前記ベースにおける前記一方の側の表面は、前記光学機能部よりも前記一方の側に位置しており、
前記可動部は、前記光学機能部の周辺に配置された梁部を更に有し、
前記梁部は、前記第1半導体層によって構成されており、
前記梁部における前記一方の側の端面は、前記光学機能部よりも前記一方の側に位置している、光学デバイス。
IPC (5件)：
G02B 26/00 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
, G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01J 3/45 ( 200 6.01)
, G02B 7/198 ( 200 6.01)
G02B 26/00
, B81B 3/00
, G01B 9/02
, G01J 3/45
, G02B 7/198
