移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-100979
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142022
特許番号：特許第6551762号
出願日： 2018年05月25日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】互いに交差する第1方向と第2方向とへ移動可能な移動体と、前記移動体を前記第1方向と前記第2方向とへ移動させる駆動装置と、前記駆動装置を支持する第1ベースと、前記移動体の異なる部分をそれぞれ支持する第1支持部と第2支持部とを有する支持装置と、前記第1支持部と前記第2支持部とを相対移動可能にそれぞれ非接触支持するガイド部材と、前記第1方向に関して前記第1ベースとは離間して配置され、前記ガイド部材を支持する第2ベースと、を備え、前記駆動装置は、前記移動体を支持した状態の前記支持装置を、前記ガイド部材上で移動させる移動体装置。

IPC (2件)：