特許

J-GLOBAL ID：201903004967357403

非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置

発明者： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
出願人/特許権者： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  杉村 光嗣 ,  神 紘一郎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2017042682
公開番号（公開出願番号）：WO2018-097325
出願日： 2017年11月28日
公開日（公表日）： 2018年05月31日
要約：

炭素原子、窒素原子、酸素原子の吸蔵量の合計が20モル%以下である非蒸発型ゲッタ材料層、及び/又は、炭素原子、窒素原子、酸素原子の吸蔵量の合計が20モル%以下である貴金属層を含むことを特徴とする、非蒸発型ゲッタコーティング部品及び容器。低圧力下で非蒸発型ゲッタ材料及び/又は貴金属を蒸着法によりコーティングすることによって、非蒸発型ゲッタ材料層及び/又は貴金属層を形成する工程を含むことを特徴とする、非蒸発型ゲッタコーティング部品及び容器の製造方法。NEG材料フィラメント及び/又は貴金属フィラメント、電流端子を備えることを特徴とする、NEGコーティング部品及び容器の製造装置。

請求項（抜粋）：

炭素原子、窒素原子、酸素原子の吸蔵量の合計が20モル%以下である非蒸発型ゲッタ材料層、及び/又は、炭素原子、窒素原子、酸素原子の吸蔵量の合計が20モル%以下である貴金属層を含むことを特徴とする、非蒸発型ゲッタコーティング部品。

IPC (8件)：

F04B 37/04 ,  F04B 37/02 ,  B01J 3/00 ,  B01J 3/03 ,  B01D 53/04 ,  C23C 14/26 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/54

FI (9件)：

F04B37/04 ,  F04B37/02 A ,  B01J3/00 K ,  B01J3/03 J ,  B01D53/04 ,  B01D53/04 220 ,  C23C14/26 A ,  C23C14/24 T ,  C23C14/54 B

Fターム (27件)：

3H076AA24 ,  3H076BB21 ,  3H076BB38 ,  3H076CC46 ,  3H076CC55 ,  4D012BA01 ,  4D012CA20 ,  4D012CB06 ,  4D012CB20 ,  4D012CD05 ,  4D012CE03 ,  4D012CF08 ,  4D012CF10 ,  4D012CG03 ,  4D012CH10 ,  4K029AA02 ,  4K029BA17 ,  4K029BA22 ,  4K029BB02 ,  4K029CA01 ,  4K029DA01 ,  4K029DA02 ,  4K029DB03 ,  4K029DB09 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029JA02