特許

J-GLOBAL ID：201903005347867165

光学測定装置および光学測定方法

発明者： 井上 展幸 ,  田口 都一
出願人/特許権者： 大塚電子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-012204
公開番号（公開出願番号）：特開2018-205295
出願日： 2018年01月29日
公開日（公表日）： 2018年12月27日
要約：

【課題】様々なサンプルの膜厚の面内分布をより高速かつ高精度に測定可能な光学測定装置および光学測定方法を提供する。【解決手段】光学測定装置は、測定対象に対して所定の波長範囲を有する測定光を直線状に照射する照射光学系と、測定光の照射により測定対象から生じる透過光または反射光である直線状の測定干渉光を受光する測定光学系と、処理装置とを含む。測定光学系は、測定干渉光を当該測定干渉光の長手方向とは直交する方向に波長展開する回折格子と、回折格子により波長展開された測定干渉光を受光して2次元画像を出力する撮像部とを含む。処理装置は、測定光が照射される測定対象の各測定点に対応する2次元画像上の領域に関連付けて、各測定点から測定光学系への入射角に応じた補正要素を算出する第1の算出手段と、2次元画像に含まれる各ピクセル値に対して対応する補正要素を適用した上で、測定対象の光学特性を算出する第2の算出手段とを含む。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

測定対象に対して所定の波長範囲を有する測定光を直線状に照射する照射光学系と、 前記測定光の照射により前記測定対象から生じる透過光または反射光である直線状の測定干渉光を受光する測定光学系と、 処理装置とを備え、 前記測定光学系は、 前記測定干渉光を当該測定干渉光の長手方向とは直交する方向に波長展開する回折格子と、 前記回折格子により波長展開された測定干渉光を受光して2次元画像を出力する撮像部とを含み、 前記処理装置は、 前記測定光が照射される前記測定対象の各測定点に対応する前記2次元画像上の領域に関連付けて、各測定点から前記測定光学系への入射角に応じた補正要素を算出する第1の算出手段と、 前記2次元画像に含まれる各ピクセル値に対して対応する補正要素を適用した上で、前記測定対象の光学特性を算出する第2の算出手段とを備える、光学測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/41

FI (2件)：

G01B11/06 G ,  G01N21/41 Z

Fターム (47件)：

2F065AA30 ,  2F065BB11 ,  2F065BB15 ,  2F065CC02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG16 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL01 ,  2F065LL04 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL49 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR06 ,  2F065UU02 ,  2F065UU05 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG03 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059NN06