特許
J-GLOBAL ID:201903005583949156
水素リサイクルシステム及び水素リサイクル方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人広江アソシエイツ特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-107532
公開番号(公開出願番号):特開2019-210185
出願日: 2018年06月05日
公開日(公表日): 2019年12月12日
要約:
【課題】窒化化合物製造装置の排気ガスから高収率で高純度の水素を精製しリサイクルすることができる水素リサイクルシステムと水素リサイクル方法を提供する。【解決手段】水素リサイクルシステム1は、窒化化合物製造装置2からの排気ガス供給路11と、水素リサイクル手段10と、水素供給路12とを備えている。水素リサイクルシステム1の水素リサイクル手段10は、放電空間32の少なくとも一部を規定するプラズマ反応容器31と、放電空間32と水素供給路12に連通する水素流路33とを区画しており、一方の面によって放電空間32の少なくとも一部を規定しており、且つ他方の面によって水素流路33の少なくとも一部を規定している水素分離膜34と、放電空間32の外側に配置されている電極35と、放電空間32に充填されており、供給された前記排気ガスを吸着する吸着剤36と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図3
請求項(抜粋):
窒化化合物製造装置用の水素リサイクルシステムであって、
前記窒化化合物製造装置から排出された排気ガスを受け入れる排気ガス供給路と、
前記排気ガスから高純度水素を精製する水素リサイクル手段と、
前記水素リサイクル手段から前記窒化化合物製造装置に高純度水素を供給する水素供給路と、
を備えており、
前記水素リサイクル手段が、
放電空間の少なくとも一部を規定するプラズマ反応容器と、
前記放電空間と前記水素供給路に連通する水素流路との間を区画しており、一方の面によって前記放電空間の少なくとも一部を規定しており、且つ他方の面によって水素流路の少なくとも一部を規定している水素分離膜と、
前記放電空間の外側に配置されている電極と、
前記放電空間に充填されており、供給された前記排気ガスを吸着する吸着剤と、
を備えていることを特徴とする水素リサイクルシステム。
IPC (6件):
C01B 3/04
, C01B 3/56
, C01B 3/00
, C23C 16/44
, B01D 53/04
, B01D 53/22
FI (6件):
C01B3/04 B
, C01B3/56 Z
, C01B3/00 Z
, C23C16/44 E
, B01D53/04
, B01D53/22
Fターム (41件):
4D006GA41
, 4D006HA28
, 4D006JA03A
, 4D006KA01
, 4D006KB12
, 4D006KB30
, 4D006MA02
, 4D006MB04
, 4D006MC02
, 4D006PA04
, 4D006PB19
, 4D006PB66
, 4D006PC01
, 4D012BA01
, 4D012BA02
, 4D012CA20
, 4D012CB14
, 4D012CD10
, 4D012CG01
, 4D012CH08
, 4G140AB01
, 4G140FA02
, 4G140FA04
, 4G140FB06
, 4G140FB08
, 4G140FC01
, 4G140FE01
, 4K030AA11
, 4K030AA13
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030BA08
, 4K030BA38
, 4K030EA03
, 4K030EA13
, 4K030EA14
, 4K030FA10
, 4K030JA05
, 4K030LA14
, 5H127AB21
, 5H127BA07
引用特許: