特許
J-GLOBAL ID：201903005716591896
顕微ラマン分光測定装置、顕微ラマン分光測定の方法及びプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
黒田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-243613
公開番号（公開出願番号）：特開2019-109180
出願日： 2017年12月20日
公開日（公表日）： 2019年07月04日
要約：
【課題】顕微ラマン分光測定におけるレーザ光の試料への合焦を速やかに行い、分光測定の非専門家であっても効率的に多数の試料の顕微ラマン分光測定を行えるようにする。【解決手段】顕微ラマン分光測定装置100の制御部110は、機械的駆動部109によりステージ101の高さを変化させて対物レンズ104及びステージ101間の対向距離を変化させながら、レーザ光源102から出射させたレーザ光を固定部材501及び502に挟まれた試料503に照射し、分光部108から固定部材501又は502と試料503のラマン散乱光の強度を抽出して、レーザ光の試料への合焦が推定されるときの対向距離の値を合焦距離として確定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を照射された試料から散射されるラマン散乱光を検出して分析することができる顕微ラマン分光測定装置において、
レーザ光源と、
試料載置面を有し、前記試料を光透過性の固定部材に固定して前記試料載置面に載置することができるステージと、
前記ステージに対向すると共に、前記ステージと反対側から入射する光を前記ステージの向きに合焦させるように配置された対物レンズと、
前記対物レンズ及び前記ステージ間の対向距離を変化させることができる機械的駆動部と、
前記ラマン散乱光のスペクトルを計測することができる分光部と、
前記レーザ光源から出射したレーザ光を、前記対物レンズを経て前記ステージに向かわせると共に、前記対物レンズを経て入射した前記ラマン散乱光を前記分光部に向かわせることができる光弁別部と、
前記機械的駆動部を制御して前記対向距離を変化させる度に前記レーザ光源を制御してレーザ光を出射させると共に前記分光部が計測したスペクトルのデータを取得することができ、かつ、前記スペクトルのデータから抽出した前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度の少なくともいずれか1の値から前記レーザ光の前記試料への合焦が推定される合焦条件を満たすときの前記対向距離の値を合焦距離として確定することができる制御部とを
備えたことを特徴とする顕微ラマン分光測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
2G043AA03
, 2G043CA05
, 2G043DA06
, 2G043EA03
, 2G043FA06
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043JA02
, 2G043JA03
, 2G043KA02
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 2H052AC04
, 2H052AC34
, 2H052AD06
, 2H052AF07
