位置決め装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人梶・須原特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-088011
公開番号（公開出願番号）：特開2019-193955
出願日： 2018年05月01日
公開日（公表日）： 2019年11月07日
要約：

【課題】半導体基板などの極めて小さい位置決め対象物を自動的に位置決めすることが可能な、従来よりもはるかに小さい位置決め装置を提供すること。【解決手段】ピストン8が基端側へロック移動されることで、入力部(キャップ14)が押圧部材(テーパスリーブ15)を心柱3先端部の外傾斜面4aに沿って基端側へ移動させると共に、テーパスリーブ15が半径方向の外方へ拡径する。ピストン8が先端側へリリース移動されることで、テーパスリーブ15の半径方向の内方への弾性復元力により当該テーパスリーブ15が外傾斜面4aに沿って先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動部材(2)に設けられた孔(2a)に挿入可能となるように基準部材(1)から先端側へ突設された筒状の心柱(3)であって、先端側に向かうにつれてすぼまるように先端部(4)の外周壁に形成された外傾斜面(4a)を有する心柱(3)と、前記基準部材(1)の内部に、軸方向へ移動可能で保密状に挿入されたピストン(8)と、前記ピストン(8)に連結されると共に、前記心柱(3)の筒孔(3a)に挿入された出力ロッド(13)と、前記出力ロッド(13)の先端部(13a)の外周壁から半径方向に突設された入力部(14、21)と、前記外傾斜面(4a)に先端側から楔係合する押圧部材(15、22)であって、半径方向へ拡径及び縮径可能な押圧部材(15、22)と、を備え、前記ピストン(8)が基端側へロック移動されることで、前記入力部(14、21)が前記押圧部材(15、22)を前記外傾斜面(4a)に沿って基端側へ移動させると共に、前記押圧部材(15、22)が半径方向の外方へ拡径し、前記ピストン(8)が先端側へリリース移動されることで、前記押圧部材(15、22)の半径方向の内方への弾性復元力により当該押圧部材(15、22)が前記外傾斜面(4a)に沿って先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径する、ことを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

B23Q 3/18 , H01L 21/68 , F16B 1/02

FI (3件)：

B23Q3/18 B , H01L21/68 G , F16B1/02 R

Fターム (9件)：

3C016HA04 , 5F131AA04 , 5F131CA38 , 5F131DA05 , 5F131FA02 , 5F131FA14 , 5F131GA05 , 5F131GA23 , 5F131GA76

引用特許：

審査官引用 (3件)

高精度拡張マンドレル
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-070695 出願人：サンドビックトブラーソシエテアノニム
位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-172848 出願人：株式会社コスメック
クランプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-290377 出願人：株式会社コスメック

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