特許

J-GLOBAL ID：201903006447623901

液体混合物および液体混合物を用いて基板をエッチングするための方法

発明者： ラインハルト・ゼルマー
出願人/特許権者： ラム・リサーチ・アーゲー
代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-126453
公開番号（公開出願番号）：特開2019-016789
出願日： 2018年07月03日
公開日（公表日）： 2019年01月31日
要約：

【課題】プラズマ損傷部分および/または汚染部分を除去するのに用いられるエッチングプロセスは、基板の他の露出材料に対して十分に選択的ではない。つまり、エッチングプロセスがプラズマ損傷部分および/または汚染部分を十分にエッチングするときは、所望するより多くの厚さの他の露出材料もエッチングする。【解決手段】基板をエッチングするための液体混合物は、液体混合物の15〜70質量%の範囲の酢酸と、液体混合物の5〜50質量%の範囲の硝酸と、液体混合物の8〜50質量%の範囲の硫酸と、液体混合物の0〜30質量%の範囲の水とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板をエッチングするための液体混合物であって、 前記液体混合物の15〜70質量%の範囲の酢酸と、 前記液体混合物の5〜50質量%の範囲の硝酸と、 前記液体混合物の8〜50質量%の範囲の硫酸と、 前記液体混合物の0〜30質量%の範囲の水と、 を含む、液体混合物。

IPC (4件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/105

FI (4件)：

H01L21/306 D ,  H01L21/306 R ,  H01L21/304 643A ,  H01L27/105 448

Fターム (27件)：

5F043AA20 ,  5F043AA27 ,  5F043AA40 ,  5F043DD13 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F083FZ10 ,  5F083GA27 ,  5F083GA30 ,  5F083JA31 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA60 ,  5F083KA05 ,  5F083MA06 ,  5F083MA19 ,  5F083PR05 ,  5F083PR21 ,  5F157AA36 ,  5F157AA63 ,  5F157AA76 ,  5F157AA93 ,  5F157AB89 ,  5F157BC53 ,  5F157BE12 ,  5F157BE43 ,  5F157BE45