特許

J-GLOBAL ID：201903006461268847

軟X線光源、露光装置および顕微鏡

発明者： 江島 丈雄 ,  加道 雅孝 ,  篠原 邦夫 ,  岸本 牧
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (2件)： 片山 修平 ,  横山 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-160860
公開番号（公開出願番号）：特開2019-168477
出願日： 2016年08月18日
公開日（公表日）： 2019年10月03日
要約：

【課題】軟X線光源において、レーザ光から軟X線への変換効率を高めること。【解決手段】ターゲット32にレーザ光60を照射することにより前記ターゲットに含まれる元素を含むプラズマを生成し、前記プラズマから軟X線62を放射させるレーザ装置36と、前記ターゲットを内部に収納し、前記レーザ装置が前記ターゲットに前記レーザ光を照射するときに、前記内部のガスのガス圧力を10Pa以上かつ大気圧未満とするチャンバ30と、を具備する軟X線光源。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

ターゲットにレーザ光を照射することにより前記ターゲットに含まれる元素を含むプラズマを生成し、前記プラズマから軟X線を放射させるレーザ装置と、 前記ターゲットを内部に収納し、前記レーザ装置が前記ターゲットに前記レーザ光を照射するときに、前記内部のガスのガス圧力を10Pa以上かつ大気圧未満とするチャンバと、 を具備することを特徴とする軟X線光源。

IPC (5件)：

G03F 7/20 ,  H05G 2/00 ,  H05H 1/24 ,  G21K 7/00 ,  G21K 5/02

FI (5件)：

G03F7/20 503 ,  H05G2/00 K ,  H05H1/24 ,  G21K7/00 ,  G21K5/02 X

Fターム (23件)：

2G084AA11 ,  2G084BB02 ,  2G084BB03 ,  2G084BB26 ,  2G084CC27 ,  2G084CC31 ,  2G084CC35 ,  2H197CA10 ,  2H197CA12 ,  2H197FA01 ,  2H197GA01 ,  2H197GA05 ,  2H197GA08 ,  2H197GA19 ,  2H197GA20 ,  2H197GA24 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB19 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  4C092BD05 ,  4C092BD18