特許

J-GLOBAL ID：201903006876653630

トリクロロシランの製造方法及びトリクロロシランの製造装置

発明者： 弘田 賢次 ,  荻原 克弥
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
代理人 (1件)： 特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-519363
特許番号：特許第6564550号
出願日： 2018年11月16日
要約：

【要約】 製造方法は、トリクロロシランの製造方法であって、トリクロロシランの製造系において金属シリコン粉体が流通する導入流路(f1)、導出流路(f2)、排出流路(f31)、及び排出流路(f32)の開閉を、バルブシートに対して非接触な状態で回転可能に設けられる弁体を有する無摺動バルブ(b1〜b4)を用いて行う。

請求項（抜粋）：

【請求項1】 トリクロロシランの製造方法であって、 前記トリクロロシランの製造系において金属シリコン粉体が流通する流路の開閉を、バルブシートに対して非接触な状態で回転可能に設けられる弁体を有する無摺動バルブを用いて行うことを特徴とする製造方法。

IPC (2件)：

C01B 33/107 ( 200 6.01) ,  F16K 5/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C01B 33/107 Z ,  F16K 5/04 G