特許
J-GLOBAL ID：201903006987546930
液滴測定方法と液滴測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-043970
公開番号（公開出願番号）：特開2017-161269
特許番号：特許第6601622号
出願日： 2016年03月08日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液滴が表面に配置された透明な基板を保持する測定テーブルと、
前記測定テーブルの上にセットされた前記基板の前記液滴を撮像して前記液滴の表面からの反射光量を測定する撮像部と、
前記撮像部が測定した反射光量の輝度情報に基づいて前記液滴の体積あるいは表面形状を求める測定制御部と
を設け、
前記測定テーブルの表面に、前記基板の裏面に接しない空間部を有し、前記空間部は大気圧であり、
前記空間部の両脇に、吸引口が有り、前記基板を吸着保持する液滴測定装置であり、
前記空間部の上方の前記基板には、前記液滴が位置し、
前記吸引口の上方の前記基板には、前記液滴の周囲に、溶媒雰囲気を一定に保つためのダミー液滴が位置する液滴測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ( 200 6.01)
, B05C 11/00 ( 200 6.01)
G01B 11/24 A
, B05C 11/00
