特許

J-GLOBAL ID：201903007088756255

半導体製造機器内の消耗部品の摩耗検出

発明者： ブレット・シー.・リチャードソン
出願人/特許権者： ラム リサーチ コーポレーション
代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-160065
公開番号（公開出願番号）：特開2017-050535
特許番号：特許第6598745号
出願日： 2016年08月17日
公開日（公表日）： 2017年03月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板を処理するチャンバであって、 前記チャンバ内の基準部品であって、前記チャンバの作動中に摩耗しない基準部品と、 前記チャンバ内の消耗部品であって、前記チャンバの作動中に摩耗する消耗部品と、 前記基板を前記チャンバ内へ移送する移送アームと、 前記移送アーム上のセンサであって、前記移送アームが前記チャンバ内へ直線移動位置に沿って前記消耗部品の上を移動するときに、前記センサから前記消耗部品の表面までの第1の距離を測定するように構成され、前記移送アームが前記直線移動位置に沿って前記基準部品の上を移動するときに、前記センサから前記基準部品の表面までの第2の距離を測定するように構成されているセンサと、 前記第1の距離および前記第2の距離に基づいて前記消耗部品の摩耗量を決定するように構成されているコントローラと を備えるチャンバ。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01) ,  C23C 14/50 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/302 101 G ,  H05H 1/46 M ,  C23C 16/44 F ,  C23C 16/44 Z ,  C23C 14/50 K