物理量センサーデバイス、物理量センサーデバイスを用いた傾斜計、慣性計測装置、構造物監視装置、及び移動体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：井上一 , 竹腰昇 , 黒田泰 , 西河宏晃 , 藍原由和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-043534
公開番号（公開出願番号）：特開2019-158476
出願日： 2018年03月09日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：

【課題】周波数温度特性が局所的に低くなるディップが発生したとしても、ディップが発生していない周波数温度特性と同等の精度を得ることができる物理量センサーデバイスを提供する。【解決手段】温度変化のある環境下で物理量検出素子60を使用する場合、まず、温度センサー1から温度信号を受けて温度を算出する。次に、記憶部5に格納されている物理量検出素子60の周波数温度特性(温度-周波数偏差特性)を表す近似多項式の定数を読み出して、演算処理部6で周波数温度特性(温度-周波数偏差)の近似多項式を生成し、これに温度を適用し、温度変化による物理量検出素子60の周波数変動を計算する。演算処理部6は、この周波数変動を用いて物理量検出素子60の周波数を補償し、この補償した周波数変化を、演算処理部6で生成した加速度-周波数の多項式に適用することにより、物理量検出素子60に加わる加速度を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物理量センサーと、記憶部と、を含み、前記記憶部は、前記物理量センサーを用いて測定された実周波数温度特性と、所定の定数を用いた単一の近似多項式により全動作温度範囲で前記実周波数温度特性に近似させた一次周波数温度特性と、の誤差の絶対値の最大値となる温度を第一の境界温度としたとき、前記第一の境界温度未満の第一の温度領域で、前記実周波数温度特性に近似させた第一の二次周波数温度特性を得るために前記近似多項式中の各項の定数に用いられる第一の定数と、前記第一の境界温度以上の第二の温度領域で、前記実周波数温度特性に近似させた第二の二次周波数温度特性を得るために前記近似多項式中の各項の定数に用いられる第二の定数と、を記憶していることを特徴とする物理量センサーデバイス。

IPC (3件)：

G01P 15/10 , G01P 15/08 , G01C 9/06

FI (3件)：

G01P15/10 , G01P15/08 101B , G01C9/06 E

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