特許

J-GLOBAL ID：201903007782961672

複合酸化物およびトランジスタ

発明者： 山崎 舜平
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：IB2018051300
公開番号（公開出願番号）：WO2018-167593
出願日： 2018年03月01日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：

新規な材料、および新規な材料を用いたトランジスタを提供する。少なくとも2つの領域を有する複合酸化物であって、領域の1つは、In、Zn、および元素M1(元素M1は、Al、Ga、Si、B、Y、Ti、Fe、Ni、Ge、Zr、Mo、La、Ce、Nd、Hf、Ta、W、Mg、V、Be、またはCuのいずれか一つ、または複数)を含み、領域の他の1つは、In、Zn、および元素M2(元素M2は、Al、Ga、Si、B、Y、Ti、Fe、Ni、Ge、Zr、Mo、La、Ce、Nd、Hf、Ta、W、Mg、V、Be、またはCuのいずれか一つ、または複数)を含み、元素M1を含む領域における、In、Zn、および元素M1に対する元素M1の割合は、元素M2を含む領域における、In、Zn、および元素M2に対する元素M2の割合よりも、少なく、複合酸化物をX線回折法測定にて解析し、且つX線回折のピーク強度が検出される角度を対称軸とした場合、X線回折法測定の回折パターンの結果が、左右非対称である。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの領域を有する複合酸化物であって、 前記領域の1つは、 In、Zn、および元素M1(元素M1は、Al、Ga、Si、B、Y、Ti、Fe、Ni、Ge、Zr、Mo、La、Ce、Nd、Hf、Ta、W、Mg、V、Be、またはCuのいずれか一つ、または複数)を含み、 前記領域の他の1つは、 In、Zn、および元素M2(元素M2は、Al、Ga、Si、B、Y、Ti、Fe、Ni、Ge、Zr、Mo、La、Ce、Nd、Hf、Ta、W、Mg、V、Be、またはCuのいずれか一つ、または複数)を含み、 前記元素M1を含む領域における、In、Zn、および元素M1に対する元素M1の割合は、元素M2を含む領域における、In、Zn、および元素M2に対する元素M2の割合よりも、少なく、 前記複合酸化物をX線回折法測定にて解析し、且つX線回折のピーク強度が検出される角度を対称軸とした場合、 X線回折法測定の回折パターンの結果が、左右非対称であることを特徴とする複合酸化物。

IPC (3件)：

H01L 21/363 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (3件)：

H01L21/363 ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618Z

Fターム (91件)：

5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD30 ,  5F103GG02 ,  5F103GG10 ,  5F103LL13 ,  5F103NN01 ,  5F103NN05 ,  5F110AA02 ,  5F110AA06 ,  5F110AA07 ,  5F110AA08 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD24 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE08 ,  5F110EE14 ,  5F110EE30 ,  5F110EE38 ,  5F110EE42 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF05 ,  5F110FF09 ,  5F110FF13 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG07 ,  5F110GG16 ,  5F110GG17 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG30 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG43 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN05 ,  5F110NN12 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN28 ,  5F110NN35 ,  5F110NN71 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP10 ,  5F110PP13 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ06 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ19