特許

J-GLOBAL ID：201903007849759245

可撓性のあるワークピースのためのサポート

発明者： ニール・ショート ,  パディー・アッシュ
出願人/特許権者： エーエスエム・アセンブリー・システムズ・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド
代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-029458
公開番号（公開出願番号）：特開2018-137445
特許番号：特許第6600706号
出願日： 2018年02月22日
公開日（公表日）： 2018年08月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 可撓性のあるワークピースを支持するためのサポート部材であって、前記サポート部材が、 平面状のクランピング領域を有する実質的に平面状のサポート表面であって、使用時に、減圧又は真空によってワークピースが前記クランピング領域に固定可能である、サポート表面と、 前記サポート部材内に形成された内部空洞と、 低圧源又は真空源への接続のためのポートであって、前記内部空洞と流体接続するポートと、 前記内部空洞と流体接続するように前記サポート表面に形成された凹所であって、前記凹所が、前記サポート表面に沿って横に延在し、前記凹所が、前記クランピング領域の周縁の近くに位置する外側領域と、前記クランピング領域の中央部分の中に位置する内側領域と、を有するようになっており、前記内側領域及び前記外側領域が、前記サポート表面の平面に平行するそれぞれ幅w1,w2を有する、凹所と、 を備えており、 前記凹所の前記外側領域の前記幅(w2)は前記内側領域の前記幅(w1)よりも狭く、使用時に、前記ポートが低圧源又は真空源に流体接続されると、前記クランピング領域の前記周縁における圧力が前記クランピング領域内の前記中央部分における圧力よりも低くなるようになっており、 前記凹所の前記外側領域が閉じられており、前記外側領域が、前記サポート表面の前記平面に対して直交する方向に、前記内部空洞まで延在しないようになっている、サポート部材。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  B23Q 3/08 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 真空チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-041912   出願人：株式会社ナノテム
• 真空チヤツク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-062555   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (2件)

• 真空チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-041912   出願人：株式会社ナノテム
• 真空チヤツク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-062555   出願人：株式会社日立製作所