特許
J-GLOBAL ID:201903008028678634
圧電基板および弾性表面波デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深井 敏和
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018024794
公開番号(公開出願番号):WO2019-004425
出願日: 2018年06月29日
公開日(公表日): 2019年01月03日
要約:
タンタル酸リチウム(LT)結晶などのリチウムを含む金属化合物結晶からなり、基板内にカリウムを含有しており、かつカリウムの分布が基板の厚さ方向に略均質な圧電基板を提供する。また、断面方向から測定したラマンスペクトルにおいて、380cm-1近傍に存在するLi-O格子振動起因のピークが、導電率が1×10-15S/cm以下の未処理圧電基板の同ピークと比較して、高波数側にシフトしている圧電基板を提供する。
請求項(抜粋):
リチウムを含む金属化合物結晶からなる圧電基板であって、基板内にカリウムを含有しており、かつカリウムの分布が基板の厚さ方向に略均質であることを特徴とする圧電基板。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (19件):
4G077AA02
, 4G077AB01
, 4G077AB06
, 4G077AB08
, 4G077BC37
, 4G077CF10
, 4G077EB01
, 4G077HA11
, 4G077HA12
, 5J097AA27
, 5J097AA32
, 5J097BB11
, 5J097FF01
, 5J097GG03
, 5J097GG04
, 5J097HA02
, 5J097HA03
, 5J097HA07
, 5J097KK01
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