特許
J-GLOBAL ID：201903008450193767
蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法および表示装置の製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-072336
公開番号（公開出願番号）：特開2019-049044
出願日： 2018年04月04日
公開日（公表日）： 2019年03月28日
要約：
【課題】蒸着によって形成されるパターンの精度を向上可能とした蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】蒸着マスクを形成するための金属板の幅方向での各位置における金属板の長手方向に沿った形状は、金属板の長手方向に繰り返す波を有し、波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ直線の長さが波の長さであり、波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、長手方向に含まれる全ての波の単位急峻度の平均値が急峻度であり、金属板の幅方向での中央部RCにおける急峻度の最大値が、0.3%以下であり、金属板の幅方向での各端部REにおける急峻度の最大値が、0.6%以下であり、金属板の幅方向での両端部REのなかの少なくとも一方での急峻度の最大値は、金属板の幅方向の中央部RCにおける急峻度の最大値よりも小さい。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
複数の孔がエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、
前記金属板の幅方向での各位置における前記金属板の長手方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の長手方向に繰り返す波を有し、
前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ直線の長さが波の長さであり、
前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、
前記金属板の幅方向の各位置において、前記長手方向に含まれる全ての波での単位急峻度の平均値が急峻度であり、
前記金属板の幅方向での中央部における急峻度の最大値が、0.3%以下であり、
前記金属板の幅方向での各端部における急峻度の最大値が、0.6%以下であり、
前記金属板の幅方向での両端部のなかの少なくとも一方での急峻度の最大値は、前記金属板の幅方向の中央部における急峻度の最大値よりも小さい、
蒸着マスク用基材。
IPC (7件)：
C23C 14/04
, B21B 1/40
, C25F 3/02
, C25F 3/06
, C25F 3/14
, C23F 1/00
, C23F 1/02
C23C14/04 A
, B21B1/40
, C25F3/02 B
, C25F3/06
, C25F3/14
, C23F1/00 C
, C23F1/00 102
, C23F1/02
4E002AA07
, 4E002AD13
, 4E002CA02
, 4E002CA08
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029HA04
, 4K057WA11
, 4K057WB02
, 4K057WB03
, 4K057WB11
, 4K057WC03
, 4K057WD07
, 4K057WE03
, 4K057WE08
, 4K057WE11
, 4K057WE12
, 4K057WM03
, 4K057WM04
, 4K057WN03
