特許
J-GLOBAL ID：201903009204402388
変位取得装置、変位取得方法、およびプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
堀田 実
, 野村 俊博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-127745
公開番号（公開出願番号）：特開2019-011984
出願日： 2017年06月29日
公開日（公表日）： 2019年01月24日
要約：
【課題】サンプリングモアレ法を用いて対象表面における計測点の変位を計測する場合に、対象面の傾き又は計測方向による誤差を低減できるようにする。【解決手段】変位取得装置10は、変位計測装置3と補正係数算出装置5と変位算出装置9を備える。変位計測装置3は、対象表面1aの模様を撮像するカメラ3aと、撮像した画像をサンプリングモアレ法により計測変位を求めるデータ処理部3bとを有する。補正係数算出装置5は、計測変位に関する補正係数を求める。変位算出装置9は、計測変位と補正係数とに基づいて、計測点の補正後変位を算出する。補正係数を求めるために、カメラ3aと対象表面1aとの相対位置を変化させる。変位計測装置3は、この変化による設定方向に存在する対象表面1aの計測点の変位を、係数算出用変位として計測する。補正係数算出装置5は、係数算出用変位と相対位置の変化量とに基づいて補正係数を求める。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
物体の対象表面の変位を計測する変位取得装置であって、
前記対象表面に設けた規則性のある模様を撮像するカメラと、該カメラが撮像した前記模様の画像データに基づいてサンプリングモアレ法により前記対象表面における計測点の変位を計測変位として求めるデータ処理部とを有する変位計測装置と、
前記計測変位に関する補正係数を求める補正係数算出装置と、
前記計測変位と前記補正係数とに基づいて、前記計測点の補正後変位を算出する変位算出装置と、を備え、
前記計測点は、前記カメラから見た設定方向に位置し、前記補正係数は、前記設定方向について求められ、
前記補正係数を求めるために、前記カメラと前記対象表面との相対位置を変化させ、
前記変位計測装置は、この変化による、前記設定方向に存在する前記対象表面の計測点の変位を、係数算出用変位として計測し、
前記補正係数算出装置は、前記係数算出用変位と、前記相対位置の変化量とに基づいて、前記補正係数を求める、変位取得装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2F065AA04
, 2F065AA09
, 2F065BB02
, 2F065BB27
, 2F065DD03
, 2F065EE11
, 2F065FF06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
, 2F065MM24
, 2F065PP03
, 2F065QQ01
, 2F065QQ16
, 2F065QQ23
, 2F065QQ26
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
