エネルギー分散測定装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-037617
公開番号（公開出願番号）：特開2019-153452
出願日： 2018年03月02日
公開日（公表日）： 2019年09月12日
要約：

【課題】有機半導体の伝導帯(空準位)のバンド分散を測定することができるエネルギー分散測定装置を提供する【解決手段】エネルギー分散測定装置を、0eVから5eVの範囲で運動エネルギーを変化させた電子線を出射する電子源と、電子源から出射した電子線が照射される試料と、試料から出射した光の強度を測定する光検出器と、光検出器により測定した光の強度に基づいて前記試料のエネルギー分散に関する情報を算出するエネルギー分散算出部を備え、試料を回転させられるものとした。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

0eVから5eVの範囲内で運動エネルギーを変化させた電子線を出射する電子源と、前記電子源から出射した電子線が照射された試料から出射した光について、光のエネルギー選別装置によりエネルギーを選別して前記光の強度を測定する光検出器と、前記光検出器により測定した光の強度に基づいて前記試料のエネルギー分散に関する情報を算出するエネルギー分散算出部を備え、前記試料を回転させられるものとしたことを特徴とするエネルギー分散測定装置。

IPC (5件)：

H01J 37/252 , H01J 37/244 , H01J 37/20 , H01J 37/06 , G01N 21/62

FI (5件)：

H01J37/252 Z , H01J37/244 , H01J37/20 A , H01J37/06 Z , G01N21/62 A

Fターム (18件)：

2G043AA03 , 2G043BA14 , 2G043CA05 , 2G043EA11 , 2G043GA07 , 2G043GB03 , 2G043HA03 , 2G043JA03 , 2G043LA02 , 5C001AA05 , 5C001CC05 , 5C030BB17 , 5C030BC09 , 5C033NN10 , 5C033NP08 , 5C033RR02 , 5C033RR04 , 5C033RR10

引用特許：

審査官引用 (6件)

荷電粒子顕微鏡における角度ルミネセンスを測定するためのシステムおよび方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-154820 出願人：ガタンインコーポレイテッド
特許第6108361号
逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-068235 出願人：広島大学長

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