特許
J-GLOBAL ID：201903009591940716
波長変調分光システム、誤差情報生成システム、および波長変調分光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
山川 茂樹
, 小池 勇三
, 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-137905
公開番号（公開出願番号）：特開2019-020213
出願日： 2017年07月14日
公開日（公表日）： 2019年02月07日
要約：
【課題】被測定物の特性評価をより簡便かつ正確に行うことができる波長変調分光システムを提供する。【解決手段】波長変調分光システム1は、波長可変レーザ101と、波長可変レーザから出射されるレーザ光の波長を変調周波数fで変調し、変調中心波長を掃引する波長可変レーザ駆動装置120とを有し、波長可変レーザ駆動装置は、発振器102と、電圧掃引電源103と、電圧加算回路104と、電圧-電流変換回路105とを有し、波長可変レーザ101への注入電流を生成する。波長変調分光システムは、波長可変レーザから出射され、被測定物106を透過したレーザ光に含まれる変調周波数の2倍の周波数成分を検出する2f成分検出器108と、変調中心周波数に対する2倍の周波数成分の大きさを表す波長スペクトルを測定するスペクトル測定装置111と、スペクトル測定装置により測定された波長スペクトルの誤差情報を記憶する記憶装置113とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
波長可変レーザと、
この波長可変レーザを駆動するとともに、前記波長可変レーザから出射されるレーザ光の波長を所定の変調周波数で変調し、変調中心波長を掃引する波長可変レーザ駆動装置と、
前記波長可変レーザから出射され、被測定物を透過したレーザ光のうち前記変調周波数の2倍の周波数成分を検出する2倍周波数成分検出器と、
前記変調中心波長に対する前記2倍の周波数成分の大きさを表す波長スペクトルを測定するスペクトル測定装置と、
前記スペクトル測定装置により測定された測定波長スペクトルに関する誤差情報を記憶する記憶装置と、
前記記憶装置に記憶されている前記誤差情報に基づいて、前記測定波長スペクトルを補正した補正波長スペクトルを求める補正装置と、
を備えることを特徴とする波長変調分光システム。
IPC (3件)：
G01J 3/10
, G01J 3/42
, G01N 21/39
G01J3/10
, G01J3/42 Z
, G01N21/39
2G020BA02
, 2G020CA02
, 2G020CB23
, 2G020CC22
, 2G020CD13
, 2G020CD24
, 2G020CD38
, 2G059AA01
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059GG09
, 2G059JJ03
, 2G059KK01
, 2G059MM10
, 2G059NN05
