特許
J-GLOBAL ID：201903009602902803

保護膜形成装置

発明者：
吉田 博斗

吉田 博斗 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-027830
公開番号（公開出願番号）：特開2019-145642
出願日： 2018年02月20日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
要約：
【課題】テープを介してリングフレームに支持されたウェーハの上面に保護膜を形成する際に、リングフレームの上面に付着した樹脂の除去を効率よく行う。【解決手段】保護膜形成装置2では、供給手段23が、ワークセットWSのウェーハWの上面中央に水溶性樹脂を供給する樹脂ノズル24と、ワークセットWのリングフレームFの上面に水を供給する水ノズル25と、ワークセットWSのリングフレームFの上面にエアを供給するエアノズル26とを備え、樹脂ノズル24と水ノズル25とエアノズル26とは、保持テーブル20の保持面方向に延在するアーム27に配設され、水ノズル25より保持テーブル20の回転方向下流側にエアノズル26が配設されるため、ウェーハWの上面に水溶性保護膜を形成するときに、リングフレームFの上面も効率よく洗浄でき、リングフレームFの上面に水溶性樹脂を残存させない。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
リングフレームの開口を塞いで該リングフレームに貼着したテープにウェーハが貼着されて構成されるワークセットを保持する保持テーブルと、該保持テーブルの保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転手段と、該保持テーブルが保持したウェーハの上面に水溶性樹脂を供給する供給手段とを備え、該保持テーブルを回転させてウェーハの上面に水溶性保護膜を形成する保護膜形成装置であって、 該供給手段は、該保持テーブルが保持したワークセットのウェーハの上面中央に水溶性樹脂を供給する樹脂ノズルと、 該保持テーブルが保持したワークセットのリングフレームの上面に水を供給する水ノズルと、 該保持テーブルが保持したワークセットの該リングフレームの上面にエアを供給するエアノズルと、を備え、 該樹脂ノズルと該水ノズルと該エアノズルとは、該保持テーブルの保持面方向に延在するアームに配設され、 該水ノズルより該保持テーブルの回転方向下流側に該エアノズルが配設される保護膜形成装置。
IPC (4件)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/304 ,  B05C 11/08 ,  B05C 11/10
FI (5件)：
H01L21/78 L ,  H01L21/304 651B ,  H01L21/304 651L ,  B05C11/08 ,  B05C11/10
Fターム (35件)：
4F042AA07 ,  4F042BA08 ,  4F042CC04 ,  4F042CC07 ,  4F042EB05 ,  4F042EB09 ,  4F042EB18 ,  5F063AA15 ,  5F063AA29 ,  5F063BA07 ,  5F063CB02 ,  5F063CB06 ,  5F063DD25 ,  5F063DF06 ,  5F063DF19 ,  5F063DF24 ,  5F063FF01 ,  5F063FF05 ,  5F063FF13 ,  5F063FF35 ,  5F063FF42 ,  5F157AA98 ,  5F157AB02 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC04 ,  5F157AC23 ,  5F157BB23 ,  5F157BB33 ,  5F157BB43 ,  5F157BE12 ,  5F157CB13 ,  5F157CB15 ,  5F157DB45
引用特許：
審査官引用 (6件)
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