特許

J-GLOBAL ID：201903009670158306

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 國清 辰也 ,  佐藤 英則
出願人/特許権者： ルネサスエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-081135
公開番号（公開出願番号）：特開2019-192705
出願日： 2018年04月20日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
要約：

【課題】偏光子を備えた固体撮像装置の偏光光のクロストークを低減する。【解決手段】固体撮像装置の画素部における隣り合う2つの単位画素UPIXのうち、一方の単位画素UPIXでは、板状の偏光子PLZVが配置され、他方の単位画素UPIXでは、板状の偏光子PLZHが配置されている。偏光子PLZVは、Y軸方向にそれぞれ延在し、X軸方向に互いに間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、半導体基板SUBの裏面の側からフォトダイオードPDに向かって延在し、フォトダイオードPDの中に侵入している。偏光子PLZHは、X軸方向にそれぞれ延在し、Y軸方向に互いに間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、半導体基板SUBの裏面の側からフォトダイオードPDに向かって延在し、フォトダイオードPDの中に侵入している。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

互いに対向する第1主面および第2主面を有する第1基板と、 前記第1基板に規定された画素領域と、 前記画素領域における前記第1主面の側に形成され、前記第2主面から入射する光をそれぞれ受光する光電変換素子群を含み、前記光電変換素子群において受光した前記光を光電変換することにより画素信号を生成する光電変換部と、 前記画素領域に形成された偏光子群と を有し、 前記光電変換素子群は、第1光電変換素子を含み、 前記偏光子群は、第1方向にそれぞれ延在し、前記第1方向と交差する第2方向に互いに間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、前記第2主面の側から前記第1光電変換素子に向かって延在するように形成された第1偏光子を備えた、固体撮像装置。

IPC (5件)：

H01L 27/146 ,  H04N 5/369 ,  H04N 5/335 ,  G02B 5/30 ,  G02B 5/20

FI (5件)：

H01L27/146 D ,  H04N5/369 ,  H04N5/335 ,  G02B5/30 ,  G02B5/20 101

Fターム (33件)：

2H148BD22 ,  2H148BG11 ,  2H148BH02 ,  2H149AA25 ,  2H149AB02 ,  2H149BA02 ,  2H149FC08 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118DD04 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA28 ,  4M118GA02 ,  4M118GA08 ,  4M118GC07 ,  4M118GC14 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD15 ,  4M118HA25 ,  4M118HA30 ,  5C024CX01 ,  5C024CY47 ,  5C024EX51 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31