特許

J-GLOBAL ID：201903009895578509

微粒子検出器

発明者： 菅野 京一 ,  奥村 英正 ,  水野 和幸
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-021334
公開番号（公開出願番号）：特開2019-138738
出願日： 2018年02月08日
公開日（公表日）： 2019年08月22日
要約：

【課題】微粒子検出器の外部からの信号を利用することなく微粒子の量を補正する。【解決手段】微粒子検出器10は、筐体22と、ガス流路24内に導入されたガス中の微粒子26に放電によって発生させた電荷28を付加して帯電微粒子Pにする電荷発生部30と、余剰電荷を捕集する余剰電荷除去部40と、帯電微粒子Pを捕集する捕集部50と、余剰電荷に応じて変化する第1電流I1に基づいて帯電微粒子Pに応じて変化する第2電流I2を補正し補正後の第2電流I2に基づいて微粒子数を検出する個数検出部60とを備える。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ガス中の微粒子を検出するために用いられる微粒子検出器であって、 前記ガスが通過するガス流路を有する筐体と、 前記ガス流路内に導入された前記ガス中の微粒子に放電によって発生させた電荷を付加して帯電微粒子にする電荷発生部と、 前記ガス流路内で前記電荷発生部よりも前記ガスの流れの下流側に設けられ、前記微粒子に帯電しなかった余剰電荷を捕集する第1捕集部と、 前記ガス流路内で前記第1捕集部よりも前記ガスの流れの下流側に設けられ、前記帯電微粒子を捕集する第2捕集部と、 前記第1捕集部に捕集された前記余剰電荷に応じて変化する第1物理量に基づいて前記第2捕集部に捕集された前記帯電微粒子に応じて変化する第2物理量を補正し、補正後の前記第2物理量に基づいて前記微粒子の量を検出する検出部と、 を備えた微粒子検出器。

IPC (3件)：

G01N 15/06 ,  H01T 19/00 ,  G01N 27/68

FI (3件)：

G01N15/06 D ,  H01T19/00 ,  G01N27/68 A

Fターム (3件)：

2G041CA04 ,  2G041DA10 ,  2G041EA07