特許
J-GLOBAL ID：201903010122713952
電子顕微鏡
出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ
株式会社日立ハイテクノロジーズ について
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-507873
特許番号：特許第6568646号
出願日： 2016年03月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 負の電子親和力を利用したフォトカソードと、
前記フォトカソードを励起するための励起光学系と、
前記励起光学系を介して照射された励起光により前記フォトカソードから発生した電子線を試料に照射するための電子光学系と、を有し、
前記励起光学系は、前記励起光の光源装置と、前記励起光の光路中に配置され、前記励起光に対して空間位相変調を行う光変調手段と、
を含むことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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偏極電子銃、偏極電子線の発生方法、電子銃の評価方法、及び逆光電子分光方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願2009-063992 出願人：財団法人高輝度光科学研究センター, 独立行政法人理化学研究所 -
光電子発生方法及び装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平10-027058 出願人：住友重機械工業株式会社 -
特開昭61-091844
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