特許
J-GLOBAL ID：201903010293560720
共焦点変位計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
福島 祥人
, 中川 雅博
, 澤村 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-101072
公開番号（公開出願番号）：特開2019-203866
出願日： 2018年05月25日
公開日（公表日）： 2019年11月28日
要約：
【課題】計測対象物について高い精度で計測が行われるように、計測ヘッド部の姿勢を容易かつ正確に調整することを可能にする共焦点変位計を提供する。【解決手段】計測ヘッド200A,200Bのレンズユニット220の光軸が互いに平行となるように調整される。レンズユニット220は回折レンズ222を含む。この調整時には、計測ヘッド200A,200Bが基準部材を挟んで対向する状態で、計測ヘッド200A,200Bから基準部材の一面および他面にそれぞれ複数の波長を有する光が照射される。基準部材の一面および他面でそれぞれ反射される一の波長を有する1次光であって他の波長を有する多次光の経路を通って計測ヘッド200A,200Bに入射する1次光の強度が、基準部材の一面および他面に対する計測ヘッド200A,200Bの光軸の垂直度を示す情報として主表示部610に表示される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の波長を有する光を出射する投光部と、
第1の回折レンズを含み、前記投光部により出射された光に光軸方向に沿う色収差を発生させ、計測対象物の第1の面に収束させる第1の共焦点光学系を有する第1のヘッド部と、
前記第1の面で反射されて前記第1の共焦点光学系を通過した第1の光を波長ごとに分光する第1の分光器と、
前記分光された前記第1の光を波長ごとに受光し、波長ごとの光の強度を取得する第1の受光部と、
前記第1の面を有する基準部材を用いて前記第1のヘッド部の光軸を調整可能に構成された制御装置とを備え、
前記第1のヘッド部は、前記第1のヘッド部の光軸が前記第1の面に直交する場合に、前記第1のヘッド部を通して前記第1の面に照射される一の波長を有する第1の1次光が前記第1の面で反射されて前記一の波長を有する第1の多次光の経路を通って前記第1の共焦点光学系を通過するように構成され、
前記制御装置は、前記光軸調整時において、前記第1のヘッド部の光の出射側に前記基準部材が配置された状態で、前記第1の受光部により取得された光の強度のうち前記第1の1次光が前記第1の面で反射されて前記第1の多次光の経路を通って前記第1の共焦点光学系を通過することにより得られる第1の判定光の強度に対応する情報を第1の強度情報として表示部に表示させる強度情報表示制御部を含む、共焦点変位計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/00 B
, G01B11/06 Z
2F065AA06
, 2F065AA09
, 2F065AA20
, 2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065DD19
, 2F065FF10
, 2F065GG24
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065LL02
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL30
, 2F065LL42
, 2F065LL67
, 2F065PP04
, 2F065PP11
, 2F065QQ23
, 2F065QQ29
, 2F065SS01
, 2F065SS13
, 2F065TT02
