特許
J-GLOBAL ID:201903010712588568
電子線ホログラムの作成方法、磁場情報測定方法および磁場情報測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
須田 篤
, 楠 修二
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018000663
公開番号(公開出願番号):WO2018-139220
出願日: 2018年01月12日
公開日(公表日): 2018年08月02日
要約:
【課題】磁場の印加が試料表面や試料に含まれる電子に対して与える影響を可視化して評価することができる電子線ホログラムの作成方法、磁場情報測定方法および磁場情報測定装置を提供する。【解決手段】試料1に磁場を印加した状態で、試料1の影響を受けた電子線から成る物体波と、試料1の影響を受けない電子線から成る参照波とを干渉させて第1の電子線ホログラムを作成し、その第1の電子線ホログラムから第1の位相再生像を作成する。また、試料1に磁場を印加しない状態で、試料1の影響を受けた電子線から成る物体波と、試料1の影響を受けない電子線から成る参照波とを干渉させて第2の電子線ホログラムを作成し、その第2の電子線ホログラムから第2の位相再生像を作成する。第1の位相再生像と第2の位相再生像との差に基づいて、磁場が試料1に与えた影響を示す磁場情報を得る。【選択図】図1
請求項(抜粋):
試料に磁場を印加した状態で、前記試料の影響を受けた電子線から成る物体波と、前記試料の影響を受けない電子線から成る参照波とを干渉させて電子線ホログラムを作成することを特徴とする電子線ホログラムの作成方法。
IPC (4件):
G03H 5/00
, G01N 23/041
, H01J 37/22
, H01J 37/26
FI (4件):
G03H5/00
, G01N23/041
, H01J37/22 501Z
, H01J37/26
Fターム (14件):
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001GA10
, 2G001HA09
, 2K008AA06
, 2K008BB04
, 2K008CC01
, 2K008FF17
, 2K008HH00
, 2K008HH01
, 2K008KK00
, 5C033SS03
, 5C033SS10
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