検査システム、検査方法及び検査システムの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：永井浩之 , 中村行孝 , 佐藤泰和 , 朝倉悟 , 堀田幸裕 , 岡村和郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-221024
公開番号（公開出願番号）：特開2019-086499
出願日： 2017年11月16日
公開日（公表日）： 2019年06月06日
要約：

【課題】脆化など、樹脂シートの表面形状には反映されない欠陥の有無を検査する。【解決手段】検査システムは、樹脂シートに照射光として近赤外線を照射する照射部を含む照射装置と、拡散反射スペクトルを取得する検出装置と、複数の波長点における反射光の強度の値、又は、拡散反射スペクトルに平均化、平滑化、正規化、微分、散乱補正、ベースライン補正、ピークシフト補正、又はそれらの組み合わせを含む処理を施すことによって複数の波長点において得られる値を、各波長点に対応する複数のパラメータ値として算出する処理装置と、複数のパラメータ値と樹脂材料の分子量との関係を表す回帰式が予め記憶された記憶部と、記憶部の回帰式及び処理装置が算出した樹脂層の複数のパラメータ値に基づいて樹脂層の樹脂材料の分子量を算出する解析部と、樹脂層の樹脂材料の分子量に基づいて樹脂シートの状態を判定する判定部と、を含む判定装置と、を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

樹脂材料を含む樹脂層を備える樹脂シートの状態を検査する検査システムであって、前記樹脂シートに照射光として近赤外線を照射する照射部を含む照射装置と、前記照射光を前記樹脂シートに照射することにより生じる反射光を受光し、複数の波長点における前記反射光の強度に関する情報を含む拡散反射スペクトルを取得する検出装置と、複数の波長点における前記反射光の強度の値、又は、前記拡散反射スペクトルに平均化、平滑化、正規化、微分、散乱補正、ベースライン補正、ピークシフト補正、又はそれらの組み合わせを含む処理を施すことによって複数の波長点において得られる値を、各波長点に対応する複数のパラメータ値として算出する処理装置と、複数のパラメータ値と樹脂材料の分子量との関係を表す回帰式が予め記憶された記憶部と、前記記憶部の前記回帰式及び前記処理装置が算出した前記樹脂層の複数のパラメータ値に基づいて前記樹脂層の樹脂材料の分子量を算出する解析部と、前記樹脂層の樹脂材料の分子量に基づいて前記樹脂シートの状態を判定する判定部と、を含む判定装置と、を備える、検査システム。

IPC (2件)：

G01N 21/359 , G01N 21/892

FI (2件)：

G01N21/359 , G01N21/892 A

Fターム (21件)：

2G051AA32 , 2G051AA41 , 2G051AB20 , 2G051BA06 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CC15 , 2G051EA08 , 2G051EB01 , 2G051EC03 , 2G059AA03 , 2G059AA05 , 2G059BB10 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059HH01 , 2G059MM01 , 2G059MM03 , 2G059MM05 , 2G059MM12 , 2G059MM17

引用特許：

審査官引用 (8件)

高分子化合物の不良品分離方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-337787 出願人：三井化学株式会社
ビニルエステル共重合体の分析方法及び製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-048369 出願人：日本酢ビ・ポバール株式会社
高分子材料の密度測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-147597 出願人：オプト技研株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所, 富山県

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